نانو و میکروساختارهای سیلیکان متخلخل شامل منافذ ماکرو، بر روی سیلیکان نوع p به روش آندیزاسیون الکتروشیمایی در الکتروشیمایی درالکترولیت شامل dmf و اسید hfایجاد گرید تاثیر پارامترهایی همچون زمان آندیزاسیون چگالی جریان و غلظت الکترولیت هم بر ساختار تخلخل و هم بررسانایی سیلیکان متخلخل در حضور گاز و در هوای محیط بررسی شده است. همچنین در انی کار ما بر مطالعه ی نانو ساختارهای سیلیکان متخلخل دارای حفره ایی از نوع مزو برای کاربردهای حسگرهای گازی تمرکز می کنیم این نانو ساختارهای سیلیکان متخلخل به وسیله ی آندی کردن سیلیکان تک بلوری در محلول اسیدهیدروفلوریک و اتانول به دست می آید. مشخصه های جریان –ولتاژ ساختارau/ps در شرایط معمولی اتاق (دمای 300k) ویژگی یکسو کنندگی دارد. مکانیزم حس کردن گاز اکسیژن و دی اکسید کربن در حسگرها بر پایه ی سیلیکان متخلخل مربوط به تغییر در تراکم حامل های در لایه ی متخلخل به علت مولکول های جذب شده به عنوان نتیجه ای از چگالش گاز در داخل منافذ می باشد. چندین عملیات برای پایداری و اصلاح سطح سیلیکان متخلخل معرفی شده است. یکی از شیوه های پایداری گزارش شده برای کاربردهای حسگر گازی، فرآیند گرمایی است. اتصال ها در ساختار حسگر، شامل یک لایه طلا بر روی سطح سیلیکان متخلخل و اتصال اهمیت آلومینیوم بر پشت ویفرسیلیکان می باشد. که به روش تبخیر در خلا ایجاد شده اند ما در این کار نتایج آزمایش حسگر گازی سیلیکان متخلخل که در آن اتصال طلا د دو دمای متفاوتc 300 و c 500 پخت شده است و تاثیر این فرآیند گرمایی را بر ویژگی های حسگری سیلیکان متخلخل گزارش می کنیم. رسانایی زمان پاسخ و برگشت ماکرو و مزوسیلیکان متخلخل به وسیله ی مشخصه ی جریان زمان برای فشار ثابتی از گاز اکسیژن و دی اکسید کربن بررسی شده است. هم چنین بیشینه پاسخ را به وسیله ی نمودار پاسخ ولتاژ در دمای اتاق در حضور گاز تعیین می کنیم.