در این تحقیق ضمن معرفی چارچوب نظری سیستم ها و حسگرهای اپتو مکانیکی، نشان می دهیم که فشار تابشی نور داخل کاواک می تواند ویژگی های مکانیکی آینه متحرک مانند فرکانس تشدید و ضریب میرایی را تغییر دهد. همچنین کاربرد این سیستم ها را برای اندازه گیری های دقیق بررسی می کنیم. با بدست آوردن معادلات افت و خیز سیستم های اپتو مکانیکی، نشان می دهیم که هرگونه تغییر در حرکت آینه متحرک به دلیل نیرویی ضعیف یا تغییر جرم آینه به خاطر جذب مولکول به تغییر فازی در میدان درون کاواک منجر می شود که می توان آن را با اندازه گیری فاز میدان خروجی تعیین نمود. در حال حاضر از این سیستم ها در اندازه گیری بسیار دقیق برای کاربردهای مختلف استفاده می شود. در نهایت نشان خواهیم داد که ناحیه دو پایداری ناحیه بهینه برای اندازه گیری است زیرا حساسیت حسگر در این ناحیه به مقدار بیشینه می رسد و علاوه بر این، در این ناحیه حسگر نسبت به تغییرات دما که می تواند نویز گرمایی را تغییر دهد کمتر از جاهای دیگر حساس می باشد.