یک حسگر قطعه ای است که به یک محرک خارجی (فیزیکی یا شیمیایی ) پاسخ داده و پیغام مناسبی را اریال می کند. پاسخ یک حسگر گاز به شکلهای مختلف بروز می کند که یکی از آنها تغییر مقاومت حسگر با ورود گاز می باشد. اکسیدهای فلزی و سیلیکان متخلخل از جمله موادی هستند که به عنوان حسگر گاز مورد استفاده قرار می گیرند. به دلیل قیمت بسیار پائین تر تراشه بس بلوری سیلیکان ، نسبت به تراشه تک بلوری آن، در این تحقیق از این پایه برای ساخت سیلیکان متخلخل استفاده گردید و سپس بر روی پارامترهای مهم در خوردگی مطالعه انجام شد. نتایج آزمایشهای ‏‎sem‎‏ ، ‏‎afm‎‏ و ‏‎stm‎‏ ساختار ، توپوگرافی و خواص الکتریکی سطح را نشان داد. علاوه براین مشخص گردید که غلظت ‏‎hf‎‏ به کار رفته در محلول برای ایجاد خوردگی و همچنین زمان خوردگی به نحو موثری در میزان خوردگی اثر می گذارند. نتایج اندازه گیری حساسیت به گازهای استن، اتانول و متانول نیز نشان داد که غلظت ‏‎hf‎‏ به کار رفته می تواند اثر چشمگیری بر حساسیت داشته باشد. آزمایشها نشان داد که با افزایش تراکم گاز، حساسیت و زمان پاسخ بهبود می یابد. همچنین اثر پوشش سطحی ‏‎ps‎‏ (شامل سطح اکسیدشده،پوشیده از هیدروژن و فاقد هیدروژن) بر حساسیت بررسی شد که بهترین حساسیت به ترتیب ، برای سطح ‏‎ps‎‏ پوشیده از هیدروژن، اکسیدشده و فاقد هیدروژن مشاهده شد و در همه موارد اثر اتانول بیشتر از متانول و استن بوده است.