یک تکنیک نوین برای ریزماشین کاری ارائه می شود که در آن زدایش ناهمسانگرد بسترهای ‏‎pet‎‏ در حلال ‏‎dmf‎‏ در جهت نور تابشی صورت می گیرد. وجود نور ‏‎uv‎‏ باعث فعالسازی واکنش در جهت فوتونها می گردد. ‏‎pet‎‏ یک ماده سخت می باشد و بسادگی در ‏‎dmf‎‏ حل نمی گردد. شاید برخورد فوتونهای پر انرژی ‏‎uv‎‏ به منومرهای واقع بر سطح ‏‎pet‎‏، آنها را تحریک نموده وادار به شرکت در واکنش با ‏‎dmf‎‏ می نماید. سیستم بکاربرده شده در این پروژه شامل یک ظرف شیشه ای دو جداره خنک شونده با آب با دمای قابل کنترل می باشد. درپوش بالایی ظرف شیشه ای از جنس کوارتز انتخاب می شود تا انتقال مناسب نور ‏‎uv‎‏ صورت گیرد. از نقاب دو لایه ای آلیاژ ژرمانیم-مس استفاده شده است که ضخامت لایه ژرمانیم برابر ‏‎300a‏‎‏ و ضخامت ‏‎‎‏لایه مس ‏‎a‎‏60می باشد و این لایه های ساندویچی چندمرتبه تکرار می شوند. این نقاب برای حفاظت بستر ‏‎pet‎‏ از نور ‏‎uv‎‏ و حلال در نواحی که قصد زدایش نداریم مناسب می باشد.نرخ زدایش ‏‎pet‎‏ به عنوان تابعی از دما و همچنین تابعی از شدت نور ‏‎uv‎‏ تابشی مورد مطالعه قرار گرفته است. در انتها هم ریزساختارهایی همانند میکرو چرخ دنده ها، میکروموتورها و غشاهایی برای ترموکوپل های ‏‎ge/al‎‏ ساخته شده است.