این پایان نامه یک روش تفاضلات متناهی را برای حل معادله سه بعدی انتقال گرما در فیلم نازک ، مطرح می نماید. با درنظر گرفتن شرایط انتقال گرما در مقیاس کوچک و خصوصیات آن ، معادله انتقال گرما در یک فیلم نازک بدست می آید، که این معادله با فرم معادلات گرما ، معادله سه بعدی نفوذگرایی ، در داشتن مشتق مرتبه دوم دما نسبت به زمان و مشتق مرتبه سوم دما نسبت به زمان و ابعاد جسم ، متمایز می باشد. با استفاده از روش ذوزنقه ای و روش تفاضلات متناهی فشرده این معادله گسسته سازی می شود. برای حل عددی معادله تفاضلی بدست آمده از روش ریچاردسون پیش شرط شده استفاده می گردد. با درنظر گرفتن تحلیل فوریه گسسته ثابت می شود که روش پایدار است . نتایج عددی دقت روش را نشان می دهد.