طراحی شتاب سنج mems
پایان نامه
وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه تهران
1382
علی ابوالقاسمی آزاد محمد محبوب جهرمی
علی ابوالقاسمی آزاد محمد محبوب جهرمی
طراحی شتاب سنج بر مبنای فناوری میکروماشینکاری موضوع این پایان نامه می باشد.از میان انواع مبدلهای موجود دراین مقیاس از نوع خازنی آن بهره برده شده است.جنس شتاب سنج سیلیکان است.در پایان نیز پارامترهای عملکرد شتاب سنج ارائه شده است.
