لیزرهای co2 با تهییج عرضی rf از نوع لیزرهای توان بالا با حجم و اندازه های کوچک تر از انواع دیگر لیزرها می باشد، که افزایش مساحت تخلیه موجب افزایش توان در واحد سطح گردیده و پخش حرارتی بهتر انجام می گیرد، همچنین فرکانس بعنوان پارامتر اضافی نسبت به تخلیه dc موجب کنترل بهتر این نوع تخلیه گردیده است . در این پایان نامه هدف طراحی و ساخت لیزر co2 موجبر با تهییج عرضی rf می باشد. ابتدا به بررسی تجربی و آزمایشی ساختمان داخلی تخلیه rf با تهییج عرضی پرداخته و بعد از آشنایی با این نوع تخلیه، نقش پارامترهایی همچون فرکانس و فشار و ابعاد را روی عملکرد بهینه لیزر برای دست یافتن به توان ماکزیمم، مورد بررسی قرار داده و سرانجام نوعی از لیزر موجبر مستطیلی با تهییج عرضی rf را طراحی کرده و به مرحله ساخت رساندیم که ابعاد موجبر mm3 3×9×375 و فرکانس کارکرد حدود 50mhz می باشد.