در این پایان نامه ابتدا با بررسی فرآیندهای واهلش و مدل پنج دمایی لیزر co2 و معرفی یک مدل میکروسکوپیک برای لیزر co2 موجبر با برانگیزش rf و سرمایش نفوذی، نتایج محاسبات این مدل نظری مورد مطالعه قرار گرفته است . در ادامه با بررسی پدیده شناختی تخلیه خازنی با امواج رادیویی، نواحی مختلف منحنی مشخصه این تخلیه، مربوط به مدهای آلفا و گاما و شرایط ایجاد این مدها به تفصیل مورد مطالعه قرار گرفته است . همچنین روابطی تجربی برای پارامتراهای الکتریکی تخلیه در مدهای آلفا و گاما معرفی شده اند. آنگاه با طرح نظریه تحلیل ابعادی و قوانین تشابه، روش طراحی این نوع لیزرها ارائه شده است و پارامترهای خارجی لیزر ساخته شده بدست آمده اند. در آخر با استفاده از نظریه خطوط انتقال، به طراحی القاگرهای یکنواخت کننده ولتاژ در امتداد الکترودهای لیزر و نیز شبکه تطبیق امپدانس و ژنراتور rf پرداخته ایم.