حسگرهای گازی نیمرسانای اکسید فلزی (mos) یکی از سیستم های کارآمد برای تشخیص گازهای متفاوت و اندازه گیری غلظت آن ها هستند. اساس کار حسگرهای گازی نیمرسانا بر اساس اندر کنش گاز lpg با اتم های لایه های سطحی است. این امر موجب تغییر مقاومت سطحی و نیز تغییر سطح نوار انرژی آن ها می شود. در این تحقیق، تأثیر غلظت گاز نمونه، دمای عملکرد و استفاده از آلایش نانوذرات طلا در بهبود کارایی حسگر گازی اکسید تنگستن مورد بررسی قرار گرفته است. لایه های نازک wo3 به دو صورت خالص و آلائیده با نانوذرات طلا، با درصد وزنی %0.1 و با روش های سل-ژل، لایه نشانی چرخشی و غوطه وری بر روی زیر لایه شیشه ساخته شدند. بعد از آماده سازی، لایه های نازک در دمای c?400 پخت داده شده سپس اتصالات الکتریکی توسط دستگاه کندوپاش dc، جهت اندازه گیری مقاومت سطحی لایه ها ایجاد شده است. مشخصه یابی ساختاری و ریخت شناسی لایه های نازک ایجاد شده، طی فرایندهای پراش پرتو x (xrd)، طیف سنجی تبدیل فوریه مادون قرمز (ftir)، طیف سنجی رامان و میکروسکوپ روبشی الکترونی گسیل میدانی (fe-sem) انجام شده است. نتایج بدست آمده حاکی از تشکیل نانولایه های تری اکسید تنگستن با ساختار شبه پروسکایت است. با بررسی تغییر مقاومت لایه های خالص و آلاییده در حضور گاز نمونه، آزمون حسگری لایه ها انجام شده است. نتایج نشانگر مناسب بودن این روش جهت تولید لایه های نازک تری اکسید تنگستن و به ویژه لایه آلاییده با نانو ذرات طلا برای کاربرد به عنوان حسگر گاز مایع است. بهترین حساسیت اندازه گیری شده مربوط به لایه آلاییده مربوط به دمای عملکردی 350 درجه سانتیگراد در برابرppm3000 گاز مایع در اتمسفر ازت بوده که حدود 10.5 برابر حساسیت wo3 خالص در شرایط مشابه است.

در این پایان نامه ایتریم به زیرکونیم تزریق شده است و نانو کامپوزیت حاصل با تکنیک های مختلف مورد ارزیابی قرار داده شده و در نتایج حاصل برای به کارگیری در نانوحسگرها مورد ارزیابی قرار داده شده است.

چکیده ندارد.