در این تحقیق به بررسی قطر دهانه ی حفره بر روی پارامتر های پاسخ حسگر رطوبتی آلومینای حفره دار پرداخته می شود. برای انجام این تحقیق ابتدا یک بستر آلومینای حفره دار به روش آندیزاسیون سخت در ولتاژ 137 ولت و با فاصله ی بین حفره ای 274 نانومتر وقطر دهانه ی حفره ی 55 نانومتر ساخته می شود سپس قطر حفره ها به روش سونش شیمیایی افزوده می شود. برای این کار نمونه های آندایز شده برای زمان های 5، 10، 15، 20،25، 30، 35 و40 دقیقه در محلول اسید فسفریک 5/0 مولار قرار داده می شوند به این ترتیب نمونه ها یکسان با قطر دهانه ی حفره ای برابر با 55 ، 5/67، 80، 5/92، 105، 5/117، 130، 5/142 و 155 به دست می آیند. پس از این مرحله نمونه ها به روش تبخیر توسط باریکه ی الکترونی لایه نشانی می شوند سپس با استفاده از چسب نقره حسگرها به مدار وصل می شوند. سپس نمونه ها در معرض درصد رطوبت های مختلف قرار می گیرند و در نهایت با استفاده از طیف سنجی امپدانس پاسخ های الکتریکی حسگر به درصد رطوبت های مختلف مورد بررسی قرار می گیرند. در این مطالعه حساسیت و زمان های پاسخ و بازیافت حسگرها در فرکانس های 35، 100، 500، 1000، 2000 و 5000 نسبت به تغییر قطر حفره ی آنها مورد بررسی قرار گرفت. نتایج بررسی ها نشان می دهد که با افزایش قطر حفره، حساسیت حسگرها تا قطر 130 نانومتر افزایش می یابد و بعد از آن کاهش می یابد بنابراین بیشینه ی حساسیت در قطر 130 نانومتر به دست می آید همچنین درصد رطوبت آستانه برای این حسگر به 60 درصد کاهش یافت. این حساسیت مشابه حساسیت حسگرهای رطوبت گزارش شده توسط دیکی و همکارانش می باشد. مزیت این حسگر در زمان پاسخ و بازیافت سریع آن می باشد بطوریکه در این حسگر زمان پاسخ و بازیافت در حد 2 ثانیه می باشد در حالیکه حسگرهای ساخته شده توسط دیکی و همکارانش دارای زمان پاسخ در حد 30 ثانیه می باشد.