در این تحقیق، خواص اپتیکی و ساختاری فیلم های نازک اکسید روی مورد مطالعه قرار گرفته است. برای پوشش این فیلمها، از روش انباشت بخار شیمیایی (cvd) و با کمک تکنیک فعال سازی حرارتی استفاده شده است. زینک استات بعنوان پیش ماده بکار رفته است. گاز اکسیژن جهت انجام واکنش و تشکیل اکسید روی و گاز نیتروژن نیز به عنوان گاز حامل استفاده شده اند. آنالیز های مختلفی از جمله طیف رامان (raman)، طیف ftir ، طیف سنجی نوری uv-visible، پراش اشعه ایکس(xrd) و بررسی های میکروسکوپی الکترون روبشی (sem) مورد استفاده قرار گرفته است. خواص ساختاری متفاوت را با دماهای متفاوت زیر لایه توسط آنالیز های xrd و sem مورد بررسی قرار گرفت. نتایج xrd نیز ساختار ورتزایت اکسید روی را با جهت یابی ممتاز (002) نشان می دهد. ابعاد دانه ها کمتر از 100 نانومتر به وسیله رابطه دبای- شرر محاسبه شد. ضرایب اپتیکی از قبیل ضریب شکست(n) و ضریب خاموشی (k) و گاف نواری از روی داده های طیف عبوری uv-visible توسط روش بهینه سازی چامبولیرون محاسبه شد. فیلم های تولیدی، عبوری بین 65% تا 85% را در ناحیه مریی از خود نشان می دادند.