در این تحقیق نانولوله های کربنی به روش انباشت بخار شیمایی رشد داده شدند. دمای کوره در c°750 تنظیم شد. از گاز استیلن با آهنگ شارش sccm45-40 به عنوان منبع کربن استفاده گردید. به دلیل واکنش پذیری بالای گاز استیلن لازم است که گاز بی اثر آرگن با آهنگ شارش کم، حدود sccm 1500 تا پایان فرایند از کل سیستم عبور داده شود. نانولوله های کربنی جهت رشد نیاز به نانوذرات کاتالیستی فلزی دارند. برای این منظور در این تحقیق از نانوکاتالیست های فلزی آهن و نیکل الکتروانباشت شده استفاده شده است. روش الکتروانباشت به دلیل سادگی، انجام در شرایط متعارفی و نیز مقرون به صرفه بودن از نظر اقتصادی روشی مناسب برای تولید نانوذرات فلزی می باشد. نانوساختارهای آهن و نیکل بر روی زیرلایه های مس و سیلیسیوم انباشت شدند. به منظور زدودن آلودگی ها روی سطح زیرلایه ها، از سونش استفاده گردید. با استفاده از آنالیز edx و تصاویر sem، زیرلایه مناسب و پتانسیل بهینه انباشت آهن و نیکل بر روی آن معین شدند. ساختار نانوذرات آهن، نیکل و نانولوله های کربنی رشد یافته با توجه به پارامترهای گوناگون مربوط به رشد نانوذرات آهن و نیکل، از قبیل نوع زیرلایه، غلظت یون های محلول در الکترولیت مورد استفاده، غلظت یون های افزودنی موجود در الکترولیت و دما، مورد مطالعه قرار گرفتند.