در این پایان نامه، بهینه سازی پارامترهای موثر در اندازه گیری های روش بیناب نگاری شکست القایی لیزری(libs) برای شناسایی مواد مختلف مورد بررسی قرار گرفته است. libs یک روش بیناب نگاری گسیل اتمی است که در آن یک تپ فوق کوتاه کلیدزنی q از یک لیزر nd:yag و یا لیزر اگزایمر با چگالی انرژی بالا روی سطح هدف کانونی شده و موجب افزایش سریع دمای سطح می شود به گونه ای که مواد زیرین سطح به دما و فشار بحرانی رسیده و منجر به انفجار سطح می شوند. مواد کنده شده در اثر جذب انرژی از تپ لیزر، تبخیر، اتمیزه و یونیزه شده و به این ترتیب پلاسما تشکیل می شود. نور گسیل یافته از پلاسمای القایی، عناصر موجود در نمونه ی مورد مطالعه را شناسایی می کند. یک امر بسیار مهم در libs، به دست آوردن بهترین شرایط سیگنال به نویز خطوط اتمی است، اجتناب از خودجذبی و پهن شدگی خط و انتخاب فاصله ی مناسب از جمله راه های رسیدن به این شرایط می باشد. دما و چگالی الکترونی پلاسما نیز پارامترهای مهمی هستند که دراندازه گیری های libs مورد نیاز است. در این تحقیق وابستگی بیناب گسیلی libs به فاصله عمودی از سطح نمونه مورد بررسی قرار گرفته و در ادامه ، تاثیر فاصله های مختلف و طول موج و شدت لیزر در دما و چگالی الکترونی پلاسما بررسی شده است.