شبیه سازی و ساخت تفنگ الکترونی برای استفاده در طرح-نگاریِ پرتو الکترونی

پایان نامه
چکیده

طرح نگاری در ابعاد نانومتری یکی از گلوگاه های اصلی فناوری الکترونیک است که در ساخت مدارهای مجتمع کاربرد فراوانی دارد. گرچه سرعت طرح نگار الکترونی در مقایسه با طرح نگار نوری پایین تر است، اما این روش از چند جهت اهمیت دارد: وضوح بسیار بالا، سادگی نسبی، قابلیت تبدیل شدن به میکروسکوپ الکترونی روبشی، امکان ساخت ماسک برای طرح نگار نوری، کاهش هزینه ساخت و در نتیجه موازی سازی فرآیند. در این پایان نامه تمرکز روی طرح نگار مینیاتوری با المان های الکترواستاتیک بوده است؛

منابع مشابه

طراحی و ساخت یک تفنگ الکترونی برای فرایند جوشکاری با پرتو الکترونی

فن آوری پرتوهای الکترونی کاربرد گسترده ای در تحقیقات علمی و صنایع مختلف دارد، از طیف سنج های الکترونی و میکروسکوپ های الکترونی گرفته تا استفاده های کارگاهی مانند جوشکاری، دریل کاری، برشکاری و غیره. با بکارگیری سامانه های اپتیک الکترونی می توان به الکترون ها شتاب داده و آن ها را در یک نقطه کوچک متمرکز نمود. اگر اینچنین پرتویی با چگالی توان بالا به ماده جامد برخورد کند، می تواند پیوند های ماده را...

شبیه‌سازی یک تفنگ الکترونی انرژی- پایین

تفنگ‌های الکترونی ابزارهای بسیار مهم و پرکاربرد در پراکندگی الکترون هستند. مدل‌های مختلف و متنوعی از این تفنگ‌ها طراحی شده است. در این مقاله با استفاده از نسخه‌ی 0/8 کد محاسباتی SIMION سه بُعدی، یک تفنگ الکترونی انرژی- پایین، مناسب انجام مطالعه‌های برخورد الکترون طراحی و شبیه‌سازی شده است. از این کد محاسباتی برای تصحیح ویژگی‌های کانونی عدسی‌های الکترواستاتیکی و محاسبه‌ی ولتاژهای اعمال شده به آن‌...

متن کامل

تفنگ الکترونی با باریکه پهن: رویکردی تجربی

Electron curtain accelerator is a type of low-energy electron accelerator, which plays an important role in many different industries such as printing, coating and packing to promote product quality, while reducing volatile organic compounds for protecting global environment. Electron emitter is one of the main components of this type of accelerators. Multi-filament cathodes and grid structures...

متن کامل

طراحی تفنگ الکترونی 50 میلی آمپری برای استفاده در یک شتاب‌دهنده‌ی دینامیترون

این مقاله طراحی تفنگ الکترونی گرمایونی با دو هندسه­ی متفاوت، کاتد مسطح و کاتد کروی را ارایه می‌دهد. هدف از انجام این پژوهش، پاسخ به این پرسش است که چه نوع تفنگ الکترونی برای شتاب­دهنده‌های الکترواستاتیک صنعتی مناسب­اند. در طراحی تفنگ‌های مورد نظر از نرم‌افزار سی اس تی استودیو استفاده شده است. مشخصه­های مورد نظر در طراحی تفنگ گرمایونی مناسب، حداکثر جریان mA 50 و ولتاژ 5 تا kV­10 است که بر...

متن کامل

ایجاد اتصال سرامیک به فلز در ساخت پوسته تفنگ الکترونی لامپ‌های موج رونده (TWT)

هدف از این تحقیق، ساخت پوسته تفنگ الکترونی لامپ­های موج رونده حاو ی اتصالات سرامیک به فلز است. با توجه به هزینه بالای ساخت چنین قطعات اب بند به خلاء. کوچکترین اشتباه در این مسیر موجب از بین رفتن انرژی و هزینه زیادی خواهد گشت، بنابراین در ابتدا نمونه­هایی آزمایشی طبق استاندارد ASTM F19 برای بررسی شرایط اتصال­دهی و رسیدن به خواص استحکامی و آب بند بودن به خلاء به کمک روش قالب گیری تزریقی ساخته شدن...

متن کامل

تمرکز پرتو الکترونی در میدان مغناطیسی یک منبع تبخیر پرتو الکترونی خمیده

In this paper, the vacuum film deposition through electron beam evaporation has been reviewed and the effect of magnetic field on the operation of this system has been explained. Then, the magnetic field distribution due to magnetic components configuartion of a commercial evaporation source with 270-degree electron beam gun (manufactured by Sharif University Branch of ACECR), has been simulate...

متن کامل

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده

{@ msg_add @}


نوع سند: پایان نامه

وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه شیراز - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

کلمات کلیدی

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com

copyright © 2015-2023