بررسی خواص فیزیکی لایه های نازک نانو ساختار بر پایه نیمرساناهای اکسیدی مس و آلومینیوم، تهیه شده به روش اسپری پایرولیزیز

در این تحقیق، لایه های نازک اکسید مس- آلومینیوم به روش اسپری پایرولیزیز بر روی زیرلایه های کوارتز تهیه شده است. برای این منظور، ابتدا شرایط بهینه تهیه لایه های نازک اکسید مس بدست آمد. لایه های نازک اکسید مس در بازه دمایی 350 تا 550 درجه سانتیگراد بر روی بستر شیشه ای به روش اسپری پایرولیزیز تهیه شدند. مشخصه یابی ها شکل گیری ساختار تک فاز cuo بسبلوری با سمتگیری های (002) و (111) در تمامی نمونه ها و لایه های تقریبا همگن و منسجم را بر روی بستر نشان می دهند. بررسی های اپتیکی نشان داد با افزایش دمای بستر، میزان عبور در نمونه ها افزایش یافت و نمونه ها از گاف نواری مستقیم در محدوده 83/1 تا ev 39/2 برخوردارند. همچنین لایه های نازک اکسید مس- آلومینیوم در دمای بستر 550 درجه سانتیگراد بر روی بستر کوارتز به روش اسپری پایرولیزیز تهیه شد. این نمونه در دو دمای 850 و 1000 درجه سانتیگراد بازپخت شد. مشخصه یابی ساختاری افزایش شدت قله ها را که نشان دهنده تاثیر دمای بازپخت است، بیان می کند. همچنین مشخصه یابی ساختاری حاکی از تشکیل فاز cuo در نمونه رشد داده شده و نیز تشکیل فاز cual2o4 علاوه بر فاز cuo در نمونه های بازپختی می باشد. بررسی های اپتیکی نشان داد بعد از بازپخت، میزان عبور متوسط در گستره نور مرئی (nm 700-400) در نمونه ها افزایش یافت. همچنین بازپخت سبب افزایش گاف نواری مستقیم نمونه ها شده است.