طراحی و شبیه سازی یک سنسور زاویه سنج از طریق تکنولوژی میکروماشین

در این پایان نامه یک سنسور زاویه سنج 2 جهته که از طریق تکنولوژی میکروماشین قابل ساخت است ارائه شده است. این سنسور توانایی اندازه گیری زاویه تا رنج ±90° در دو جهت x و y را دارا می باشد. در این سنسور از فنر های جدیدی که به صورت صلیب شکسته قرار گرفته اند استفاده شده است. این فنر ها تقارن مناسبی در جهات x و y به دست می دهند و ثابت فنر پایین در این جهات و سختی بالا در جهت z دارند. در این سنسور از تیغه های جدیدی استفاده شده است. این تیغه ها خروجی نسبتاً خطی می دهند و حساسیت بسیار بالایی دارند. این تیغه ها در جهات x و y به صورت دیفرانسیلی و در جهت z به صورت غیر دیفرانسیلی عمل می کنند. همچنین توانایی مهار تنش ها و ضربه های شدید وارد شده به سنسور را دارا می باشند. به ازای تغییرات زاویه از 0 تا 90 درجه تغییرات خروجی این سنسور 2.3pf خواهد بود. با توجه به این میزان تغییرات حساسیت سنسور تا 25.44 ff?° افزایش یافته است. چیدمان الکترود ها طوری قرار گرفته است که الکترود های مربوط به جهت x با الکترود های مربوط به جهت y مجزا باشند. کل سنسور از فلز نیکل ساخته شده است. روش الکتروپلیتینگ نیکل باعث می شود بتوانیم خیلی راحت تر و با امکانات ارزانتر این سنسور را بسازیم. ابعاد این سنسور 1525µm×1525µm است.