طراحی و ساخت منبع تغذیه ی پالسی 700ولت، 5 کیلو وات، با فرکانس متغیر 1-5 کیلوهرتز برای سیستم لایه نشانی با استفاده از پلاسما

در صنعت از منابع تغذیه ی مختلفی برای سیستم های لایه نشانی استفاده می شود. انتخاب منبع تغذیه ی مطلوب با توجه به شرایط لایه نشانی صورت می گیرد. منابع تغذیه ی مورد استفاده شامل منبع تغذیه ی dc ، ac ، rf و pulsed-dc می باشند. در این پروژه یک منبع تغذیه ی پالسی جریان مستقیم برای سیستم های لایه نشانی طراحی و ساخته شد. این منبع تغذیه با توان 5کیلووات و ولتاژ متغیر تا 700 ولت و فرکانس متغیر تا 10 کیلوهرتز ساخته شده است. بخش dc این منبع تغذیه با استفاده از اتوترانس ولتاژ متغیر تا 700 ولت را در خروجی خود تامین می کند. توپولوژی بخش تولیدکننده ی پالس به صورت نیم پل می باشد. این منبع تغذیه دارای مدار مدیریت جرقه می باشد که در سیستم های لایه نشانی دارای اهمیت زیادی است. حفاظت در برابر اتصال کوتاه، اضافه ولتاژ، اضافه جریان و حفاظت توان در نظر گرفته شده است. بخش کنترلی و نمایش منبع با استفاده از میکروکنترلر atmega16 انجام شده است. منبع تغذیه با استفاده از بار مقاومتی و همچنین محفظه ی خلا تست شد. نتایج بدست آمده شرایط مورد انتظار را برآورده کرد.