بررسی خواص الکتریکی میکروساختار ایجادشده بر سطح سیلیکون توسط لیزر اگزایمرarf در مجاورت گاز ?sf?_6با استفاده از روش eis
پایان نامه
- وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه تفرش - دانشکده فیزیک
- نویسنده الناز کشاورز صفی
- استاد راهنما حمیدرضا دهقانپور
- تعداد صفحات: ۱۵ صفحه ی اول
- سال انتشار 1391
چکیده
سیلیکون یکی از مهم ترین مواد نیمه رسانا است که در مورد آن تحقیقات بسیار زیادی صورت گرفته و در حال حاضر نیز در حال انجام است. یکی از موضوعات جالب در این خصوص تغییر خصوصیات سطحی سیلیکون به منظور بدست آوردن کاربرد های متفاوت از این ماده است. در این راه ایجاد میکروساختار منظم بر سطح سیلیکون با استفاده از لیزر در حضور گازهای هالوژن دار از موضوعات مطرح شده در سال های اخیر است. در این کار ما با استفاده از نتایج تجربی تکنیکeis (اسپکتروسکوپی امپدانس الکتریکی) بر روی میکروساختار ایجاد شده برسطح سیلیکون با لیزر اگزایمرarf در مجاورت گاز?sf?_6 درفشارهای مختلف و بر اساس نظریه ی موجود خواص مهمی از این میکروساختار از قبیل زمان واهلش حامل ها، تحرک پذیری و ضریب انتشار انیشتین را بدست آورده ایم.
منابع مشابه
خواص الکتریکی وساختاری فیلم نازک احیاشده توسط لیزر اگزایمر تپی
فیلم نازک احیاء شده اکسید تیتانیم
متن کاملبررسی تأثیر پارامترهای پرتودهی در رشد ریزساختارها بر روی سطح سیلیکون توسط تابش پرتو لیزر در حضور گاز sf6
تابش دهی لیزری به عنوان یک روش موثر برای اصلاح سطح جامدات در بازه وسیعی از مواد شامل فلزات، نیمه هادی ها و دی الکتریک ها مورد مطالعه قرار گرفته است. در این پژوهش با تابش پالس های نانوثانیه ای لیزر اگزایمر آرگون فلوراید (nm 193) با چگالی انرژی j/cm2 4 بر سطح سیلیکون در مجاورت گاز sf6 ریزمخروط های منظمی بر بالای سطح اولیه ایجاد شده اند که هندسه و ترکیب شیمیایی سطح را تغییر داده اند. با افزایش فشا...
15 صفحه اولبررسی رفتار توان خروجی لیزر موجبر 2CO بر حسب پارامترهای فشار گاز و جریان تخلیه الکتریکی
در این مقاله رفتار توان خروجی لیزر موجبر گازکربنیک پیوسته بر حسب پارامترهای موثر در عمل‌کرد لیزر بررسی شده است. تغییر توان خروجی لیزر بر حسب جریان تخلیه الکتریکی، فشار و نسبت آمیزه‌ی گازی در دو لوله با قطر یکسان mm 3 و طول‌های متفاوت 35 و cm70 مطالعه و بهینه‌سازی شده است. بر اساس نتایج به‌دست آمده، بیشینه مقادیر توان‌های خروجی حدود 6 و W 5/14 به ترتیب در فشارهای 78 و mbar 50 این لوله‌ها به‌دست ...
متن کاملبهکارگیری روش سطح پاسخ در مدل‌سازی حذف کادمیوم از محیط‌های آبی توسط فرایند انعقاد الکتریکی
زمینه: تخلیه پساب‌های حاوی فلزات سنگین به محیط زیست به دلیل خاصیت تجمع پذیری و عدم تجزیه پذیری زیستی این عناصر دارای اثرات بهداشتی و زیست محیطی زیان باری است. فرایند انعقاد الکتریکی به دلیل بهره‌برداری آسان و مصرف کم مواد شیمیایی، برای حذف فلزات سنگین از محیط‌های آبی مورد توجه است. هدف: اثرات متغیرهای مؤثر در حذف کادمیوم از محیط‌های آبی و ارائه مدلی برای پیش‌بینی نتایج فرایند انعقاد الکتری...
متن کاملبهینه سازی حذف آفت کش دیازینون از محیط های آبی توسط فرایند انعقاد الکتریکی با استفاده از روش سطح پاسخ
Background and purpose: Diazinon is one of the most widely used organophosphate pesticides classified by the World Health Organization (WHO) as “moderately hazardous” Class II. This work aimed at optimizing the electrocoagulation process in removal of diazinon from aqueous environments using response surface methodology. Materials and methods: In an experimental-laboratory study ...
متن کاملبررسی تأثیر تابش لیزر بر خواص الکتریکی و ساختاری لایه‌های نازک ZnO
In this paper, ZnO thin film was prepared by sol-gel process on glass substrates. The deposited films were dried at 100 and 240 ˚C and then annealed at 300, 400 and 500 ˚C. The two-probe measurement showed that resistance of as-prepared films is very high. The KrF excimer (λ=248 nm) laser irradiation with 1000 pulses, frequency of 1 Hz and 90 mJ/cm2 energy on surface of film resulted in the re...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
نوع سند: پایان نامه
وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه تفرش - دانشکده فیزیک
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023