طراحی فرایند پرداختکاری شیمیایی مکانیکی (cmp)ساچمه های سیلیکون نیتراید(si3n4)
پایان نامه
- وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی - دانشکده مهندسی مکانیک
- نویسنده سید مرتضی سجادی حور
- استاد راهنما مهرداد وحدتی
- سال انتشار 1390
چکیده
روش پرداخت شیمیایی مکانیکی (cmp chemical-mechanical polishing,) یکی از روش های پرداخت کاری فوق دقیق ساچمه ها و ویفرهای غیرفلزی مانند سیلیکون نیتراید (si3n4) و انواع سرامیک ها می باشد. در این فرایند ذرات ساینده (مانند zro2, ceo2, fe2o3 و ...) که سختی کمتری نسبت به قطعه کار دارند و در یک سیال غوطه ور هستند. در همین حالت با قطعه کار یا محیط (هوا یا آب یا روغن و....) واکنش شیمیایی مکانیکی تشکیل می دهد و یک ماده نرم تر (sio2 ) روی قطعه تولید می کنند. در نتیجه ی این کار برداشت ماده توسط ذرات ساینده، به راحتی از سطح قطعه کار انجام می گیرد. عوامل موثر در cmp شامل 1- غلظت ذرات ساینده، 2- نوع سیال، 3- بار وارد بر ساچمه ها، 4- نوع ذرات ساینده، 5- اندازه ی ذرات، 6- سرعت دوران اسپیندل و ... است. با تغییر هر یک از این پارامترهای ذکر شده عواملی مانند 1- زبری سطح، 2- کرویت، 3- نرخ براده برداری و ... تغییر می کند. در این تحقیق برای پرداخت شیمیایی مکانیکی ساچمه های سیلیکون نیتراید یک دستگاه آزمایشگاهی طراحی و ساخته شد. برای بررسی اثر 1- اثر غلظت ذرات ساینده 2- سرعت دوران اسپیندل3- زمان پرداخت کاری 4- نوع ذارت ساینده، جمعا 24 آزمایش انجام شد. طراحی آزمایش ها با نرم افزار minittab و با روش full factorial انجام گرفت. ذرات ساینده مورد استفاده در آزمایش ها zro2, ceo2, fe2o3 بودند. برای هر کدام از ذرات ساینده فاکتورهای غلظت ذرات ساینده، سرعت دوران اسپیندل و زمان انجام پرداخت کاری در دو سطح تنظیم شد. جنس صفحات پرداخت کاری نیز از استیل aisi316l انتخاب شد. در آزمایش های انجام شده برای هر سه ذره ساینده، مشاهده شد که با افزایش زمان پرداخت کاری و سرعت دوران صفحه ی پرداخت و غلظت ذرات ساینده میزان برداشت ماده بیشتر شده و کیفیت سطح نیز بهبود می یابد. همچنین مقایسه ی نتایج برای هر سه ذره ساینده نشان داد که کیفیت سطح ساچمه های پرداخت کاری شده با fe2o3 بهتر و زبری سطح به دست آمده با این ساینده کمتر از دو پودر دیگر و برابر nm69ra= است. برای بررسی نتایج آزمایش از شاخص هایی از قبیل زبری سطح و نرخ برداشت ماده استفاده شده است.
منابع مشابه
تأثیر فرایند لیگنین زدایی بر ویژگی¬های فیزیکی، مکانیکی و شیمیایی الیاف خرما
الیاف لیگنوسلولزی در طبیعت و فعّالیتهای کشاورزی به مقدار زیاد تولید گشته و در تولید پارچه، کاغذ و صنایع روستایی نقش عمدهای دارند. در صنایعی که از این الیاف استفاده مینمایند، آن ها را تیمار شیمیایی نموده تا لیگنین و همی سلولز الیاف که عامل اصلی هیدروفیلیکی هستند کاهش داده شوند. در این تحقیق الیاف خرما تحت دو تیمار شیمیایی: 1) هیدروکسید سدیم و 2) هیدروکسید سدیم و آب اکسیژنه قرار داده شدند و پ...
متن کاملتأثیر فرایند لیگنین زدایی بر ویژگی¬های فیزیکی، مکانیکی و شیمیایی الیاف خرما
الیاف لیگنوسلولزی در طبیعت و فعّالیتهای کشاورزی به مقدار زیاد تولید گشته و در تولید پارچه، کاغذ و صنایع روستایی نقش عمدهای دارند. در صنایعی که از این الیاف استفاده مینمایند، آن ها را تیمار شیمیایی نموده تا لیگنین و همی سلولز الیاف که عامل اصلی هیدروفیلیکی هستند کاهش داده شوند. در این تحقیق الیاف خرما تحت دو تیمار شیمیایی: 1) هیدروکسید سدیم و 2) هیدروکسید سدیم و آب اکسیژنه قرار داده شدند و پ...
متن کاملبهبود فرایند تهیة خمیر کاغذ شیمیایی ـ مکانیکی اکالیپتوس با استفاده از سورفکتانت‌ها
در این پژوهش اثر افزودن سه نوع سورفکتانت غیریونی با نام‌های تجاری PEG-1000، KELA-2 و KECA-20 در چهار سطح 1%، 2%، 3% و 4%به‌عنوان افزودنی فرایند خمیرسازی CMP بر ویژگی‌های خمیرکاغذ CMP به دست آمده از اکالیپتوس کاملدولنسیس، رنگبری اکسایشی خمیر و ویژگی‌های کاغذ دست‌ساز ...
متن کاملارزیابی فرایند پراکسید قلیایی و پراکسید فعال‌شده در رنگبری خمیرکاغذ شیمیایی- مکانیکی حاصل از چوب پهن‌برگان
خمیرکاغذ شیمیایی‌مکانیکی (CMP) رنگبری نشده، دارای بازده خمیرسازی 85% و تولید شده از گونه‌های ممرز، راش و صنوبر به‌ترتیب با نسبت 3، 1 و 1، برای رنگبری با پراکسید مورد استفاده قرار گرفت. برای رنگبری خمیرکاغذ از دو سامانه پراکسید قلیایی (رنگبری متداول) و پراکسید فعال‌شده توسط ماده فعال‌ساز TAED</span...
متن کاملبهینه سازی رشد نانومیله های یکنواختZnO بر روی بستر سیلیکون بذردار به روش رسوب حمام شیمیایی
نانومیله های اکسیدروی به روش رسوب حمام شیمیایی (CBD) روی بستر سیلیکون بذردار به صورت عمودی و یکنواخت رشد داده شدند. از لایه نازک اکسیدروی که به روش کندوپاش بر روی بستر سیلیکونی لایه نشانی شد به عنوان لایه بذر استفاده شد. اثرات دما و زمان رشد بر خواص ساختاری و مورفولوژیکی نانومیله های اکسید روی با استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی و پراش اشعه ایکس بررسی شد. مطالعات انجام شده نشان داد که است...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
نوع سند: پایان نامه
وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی - دانشکده مهندسی مکانیک
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023