طراحی منبع پرتو الکترونی برای تبخیر
پایان نامه
- وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه شهید چمران اهواز - دانشکده علوم
- نویسنده فاطمه همایون
- استاد راهنما مجتبی مقبل الحسین ایرج کاظمی نژاد
- سال انتشار 1390
چکیده
تکنولوژی پرتو الکترونی کاربردهای بسیار مهمی در زمینه های مختلف مانند جوش کاری، تبخیر، لایه نشانی، ذوب، اسپکترومترها و میکروسکوپ های الکترونی دارد. تفنگ الکترونی ابزار بسیار سودمندی برای تولید پرتو الکترونی می باشد و با کانونی کردن آن توسط لنزهای مغناطیسی و الکتریکی، توزیعی کانونی از پرتو روی هدف به دست می آید. در تفنگ های الکترونی استفاده شده در تولید بخار، فشار محفظه کمتر از 5-10 تور بوده و انتشار الکترون از کاتد فیلمان داغ عموماً از جنس تنگستن یا تانتالیم، اتفاق می-افتد. شبیه سازی این تفنگ های الکترونی، نقش مهمی را در ساخت آزمایشگاهی و صنعتی این تفنگ ها ایفا می کند. هدف اصلی این پایان نامه، شبیه سازی منبع تبخیر الکترونی برای کاربرد آن در لایه نشانی می باشد. به این منظور، ابتدا منابع تولید پرتو الکترونی و کاربردهای آن و انواع لایه نشانی ها مطالعه شده اند و به دلیل اهمیت حرکت الکترون تحت میدان های الکتریکی، مغناطیسی و الکترومغناطیسی، بررسی هایی در این زمینه ها صورت گرفته است و با معرفی و کاربرد نرم افزار ebs، شبیه سازی-های منبع تبخیر پرتو الکترونی توسط این نرم افزار و بررسی شرایط مطلوب آن جهت بهره برداری در لایه نشانی صورت گرفته است. سرانجام در این پایان نامه موفق به طراحی و شبیه سازی یک سامانه اپتیک الکترونی برای تبخیر با پرتو الکترونی در خلأ شده که دارای چگالی جریان2a/cm7/4 می باشد و سطح برخورد کوچک می باشد که شعاع این پرتو mm 2 و بر اساس محاسبات صورت گرفته گسیلندگی آن mm-rad56/12 و با چرخشی 90 درجه ای، توانی برابر با va 106 ×7/2 ایجاد می کند که بیا ن گر مناسب بودن این تفنگ برای فرآیند تبخیر با پرتو الکترونی در خلأ می باشد.
منابع مشابه
تمرکز پرتو الکترونی در میدان مغناطیسی یک منبع تبخیر پرتو الکترونی خمیده
In this paper, the vacuum film deposition through electron beam evaporation has been reviewed and the effect of magnetic field on the operation of this system has been explained. Then, the magnetic field distribution due to magnetic components configuartion of a commercial evaporation source with 270-degree electron beam gun (manufactured by Sharif University Branch of ACECR), has been simulate...
متن کاملطراحی و ساخت منبع تبخیر الکترونی
در این پایان نامه گزارشی از مراحل مختلف طراحی، ساخت و بالیدن یک سامانه برای تبخیر مواد و لایه نشانی در خلأ ارائه می شود. هدف پایان نامه استفاده از بمباران الکترونی به جای روش های مقاومتی برای تبخیر مواد دیرگداز که باعث واکنش با مواد مختلف، تبخیر مواد ترکیبی (غیر خالص) و در نتیجه آلودگی لایه های نشانده می شدند، بوده است. این سامانه از سه بخش مهم منبع الکترونی، منبع تغذیه ولتاژ بالا برای شتاب داد...
طراحی و ساخت یک تفنگ الکترونی برای فرایند جوشکاری با پرتو الکترونی
فن آوری پرتوهای الکترونی کاربرد گسترده ای در تحقیقات علمی و صنایع مختلف دارد، از طیف سنج های الکترونی و میکروسکوپ های الکترونی گرفته تا استفاده های کارگاهی مانند جوشکاری، دریل کاری، برشکاری و غیره. با بکارگیری سامانه های اپتیک الکترونی می توان به الکترون ها شتاب داده و آن ها را در یک نقطه کوچک متمرکز نمود. اگر اینچنین پرتویی با چگالی توان بالا به ماده جامد برخورد کند، می تواند پیوند های ماده را...
طراحی و ساخت آشکارساز نیم‌رسانای CdZnTe برای آشکارسازی پرتو گاما
در این مقاله، مرحله‌های انتخاب بلور، آماده‌سازی نمونه‌ها و نحوه‌ی ایجاد اتصال‌های شوتکی و اهمی برای ساخت آشکارساز CdZnT یا CZT قابل حمل و با قابلیت کار در دمای اتاق ارایه شده است. ابتدا درصد عناصر و اندازه‌های بلور CdZnTe با کد C4MCNP تعیین و تأثیر آن‌ها بر رفتار الکتریکی و آشکارسازی قطعه بررسی شد. پس از تهیه‌ی بلور، سطح بلور به روش شیمیایی آماده و فعال‌سازی شد. در طرف صاف‌تر سطح بلور، فلز طلا ...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
نوع سند: پایان نامه
وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه شهید چمران اهواز - دانشکده علوم
کلمات کلیدی
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023