ساخت سنسور فشار مبتنی بر لایه نازک pzt
پایان نامه
- وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه شیراز
- نویسنده وحید محمدی
- استاد راهنما عبدالغفار برزگر رحیم غیور
- تعداد صفحات: ۱۵ صفحه ی اول
- سال انتشار 1388
چکیده
در این پایان نامه مراحل طراحی، شبیه سازی، ساخت و تست سنسور فشار مبتنی بر لایه نازک pzt، نشان داده شده است. در ابتدا دیافراگمی بصورت چند لایه متشکل از لایه های pt / ti / pzt / pt / ti / sio2 توسط نرم افزار اجزای محدود ansys fe® طراحی و شبیه سازی شده است. سپس مشخصات دینامیکی دیافراگم چند لایه مورد بررسی قرار گرفته و برای عملکرد مطلوب تر سنسور، بهینه شده است. با توجه به این پارامترها، دیافراگم سنسور توسط روش های ریزماشینکاری mems ساخته و بسته بندی شده است. تست سنسور در شرایط آزمایشگاهی اتاق تمیز کلاس 1000، حساسیت ?v.?mbar?^(-1)877/24 و همچنین حساسیت نرمالیزه شده برابر با ppm.?mbar?^(-1)103?948/2 را در بازه mbar 700-0 نشان می دهد.
منابع مشابه
لایه نشانی نازک سنسور گازی مبتنی برنیمه هادی اکسید قلع با روش غوطه وری
In this paper, the designing and nano-manufacturing of the SnO2 sensors by the Dip-Coating method is reported to detect CO2 in a gaseous environment by its characteristic absorption. In addition, in order to prepare the Sol-Gel solution, SnCl2 as a primary material with different concentration is selected to deposit in diverse thicknesses. After the SnO2 deposited thin-film with different ...
متن کاملمطالعه ساختاری لایه های نازک PZT/YBCO به وسیله XRD و AES
Thin films of superconductor YBaCuO(YBCO) and Pb(ZrTi)O(PZT) is grown by laser ablation technique to make an electronic device. The quality and the structure of the films is studied by X-ray diffraction (XRD) and Auger Electron Spectroscopy (AES). A quantitative analysis of the films is also deduced from AES study. Analysis of the films show that the YBCO is grown in (001) and PZT in (10...
متن کامللایه نشانی نازک سنسور گازی مبتنی برنیمه هادی اکسید قلع با روش غوطه وری
در این مقاله، طراحی و تولید نانو سنسور sno2 به روش غوطه وری برای تشخیص co2 در یک محیط گازی با استفاده از جذب سطحی گزارش شده است. علاوه بر این، به منظور آماده سازی محلول سل-ژل، محلول sncl2 به عنوان ماده اولیه و با غلظت های مختلف به منظور داشتن لایه های مختلف در ضخامت های متنوع انتخاب شده است. در پایان، اندازه گیریهاو آنالیزهای مختلف حساسیت بالا و کیفیت خوب نمونه ها را نشان می دهند.
متن کاملساخت و بررسی نمونه‌های حجمی و لایه نازک فریت استرانسیوم
In this article, bulk and thin film samples of strontium ferrite have been studied. Due to the high electrical resistivity in strontium ferrite, energy loss due to eddy currents reduces and because of this, it can be used in high frequency magnetic circuits. On the other hand, strontium ferrite has attracted much attention as a permanent magnet. At first, we study the preparation process of b...
متن کاملساخت سیلیکاژل کروماتوگرافی لایه نازک در مقیاس آزمایشگاهی
سیلیکاژل مورد استفاده در کروماتوگرافی لایه نازک از ویژگی‌های فیزیکی و شیمیایی ویژه‌ای برخوردار است که از نظر توزیع اندازه ذرات، سطح ویژه، حجم حفره‌ها و قطر حفره‌ها در گستره‌ی مشخصی قرار می‌گیرد. در این پژوهش، برای ساخت این نوع سیلیکاژل پس از جمع‌آوری و بررسی اسناد و مدارک علمی مورد نیاز روش موسوم به روش دوغابی انتخاب شد. در این روش با استفاده از سدیم سیلیکات و سولفوریک اسید و با تکیه بر تجارب ...
متن کاملسنتز لایه نازک pzt نانوساختار به روش سل- ژل
در این پروژه لایه¬های نازک نانوساختار زیرکونات تیتانات سربpzt))به روش سل- ژل با استفاده از پیش¬مواد کلریدی سنتز گردید. لایه های نازک pzt با ترکیب عمومی pb 1.1¬(zr ¬0.53¬ ti¬ 0.47) ¬o3 پیش ازاین پروژه نیز با استفاده از پیش¬مواد آلکوکسایدی بارها سنتز شده¬اند. اما استفاده از پیش¬مواد مذکور به دمای عملیات حرارتی حدود 700 درجه سانتی گراد نیاز دارد. بنابراین مساله تبخیر سرب و به¬دنبال آن از دست رفتن ...
منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
نوع سند: پایان نامه
وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه شیراز
کلمات کلیدی
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023