در این پایان نامه، نحوه ی ساخت کانال میکرونی مخروطی با استفاده از روش لیتوگرافی نوری و لیتوگرافی نرم بررسی شده است. روش های مختلفی که برای طراحی و ساخت قالب های میکرونی به کار می روند، به نام میکروماشین کاری شناخته می شوند. میکروماشین کاری با تولید سازه های میکرواپتیکی و میکروالکترونیک به روش لیتوگرافی پا به عرصه گذاشت.
ساخت اَدوات میکرونی در کوتاه ترین زمان یکی از مشکلات کارهای آزمایشگاهی است....
