پس از کشف نانوتیوب های کربنی در سال 1991، برای اولین بار در ایران ما موفق به رشد نانوتیوب های کربنی بر روی بسترهای سیلیکان لایه نشانی شده با کبالت در دمای 800 درجه سانتیگراد و به روش نشست بخار شیمیایی pecvd شدیم. سیستم مورد استفاده ما در این روش یک سیستم cvd بود که ما یک سیستم پلاسمای dc طراحی و به آن اضافه نمودیم تا سیستم pecvd مورد نظر حاصل شود. دراین تحقیق از گازهای اتیلن به ...
