پس از کشف نانوتیوب های کربنی در سال 1991، برای اولین بار در ایران ما موفق به رشد نانوتیوب های کربنی بر روی بسترهای سیلیکان لایه نشانی شده با کبالت در دمای 800 درجه سانتیگراد و به روش نشست بخار شیمیایی ‏‎pecvd‎‏ شدیم. سیستم مورد استفاده ما در این روش یک سیستم ‏‎cvd‎‏ بود که ما یک سیستم پلاسمای ‏‎dc‎‏ طراحی و به آن اضافه نمودیم تا سیستم ‏‎pecvd‎‏ مورد نظر حاصل شود. دراین تحقیق از گازهای اتیلن به ...