سیستم های میکروالکترومکانیکی به سیستم ها و یا قطعاتی ، با اجزای مکانیکی و الکترونیکی در ابعاد میکرومتری اطلاق می گردد. به دلیل کوچکی اندازه، هزینه ساخت پایین، مصرف توان کم و بازدهی بالا این فناوری توانسته در زمینه های مختلف فناوری کاربردهای وسیعی پیدا بکند. ژیروسکوپ با فناوری میکروماشین کاری حجم ساخته شده و از نوع ارتعاشی تک محوره با تحریک خازنی طولی و آشکارسازی خازنی تفاضلی می باشد. تحریک روی ...

در این مقاله به بررسی تحلیلی و تجربی پکیج فشارسنج میکرو الکترومکانیکی پرداخته شده است. این پکیج فشارسنج از یک حسگر میکروالکترومکانیکی، برد مدار چابی، نمایشگر خازنی تشکیل شده است. در ابتدا، مدلسازی ریاضی و کامپیوتری با استفاده از نرم افزار کامسول ارائه شده که بر اساس تحلیل اجزاء محدود مقادیر خروجی ولتاژ و حساسیت از حسگر فشار میکروالکترومکانیکی پیزومقاومتی محاسبه شده است. شایان ذکر است که عنصر مق...

ژیروسکوپ پیشنهادی با بهره مندی از مدهای ارتعاشی همسان در تیرها در شرایط مودهای تطبیقی کار می کند. روش تحریک مبتنی بر تحریک الکترواستاتیک و برای خوانش از خواص خازنی استفاده می شود. با افزایش فرکانس کاری به حدود مگاهرتز، سازه ای سخت تر خواهیم داشت که این امر منجر مقاوم تر بودن حسگر نسبت به شتاب های خطی خارجی و اثرات جاذبه خواهد شد. همچنین با افزایش فرکانس کاری سطح نویز های براونی کاهش یافته که ای...

دستگاه ها و ماشین آلات دوار نقش حیاتی را در صنعت ایفا می کنند. در این نوع ماشین آلات به علت حرکت دورانی اجزا، وجود لرزش و ارتعاش، پدیده ای بدیهی است. معیوب بودن این گونه دستگاه ها باعث کاهش تولید و افزایش هزینه می شود. ارتعاشات هر ماشین دوار ارتباط مستقیمی با وضعیت آن دارد و هرگونه تغییر، هر چند جزئی، در وضعیت دستگاه با تغییر در وضعیت ارتعاشات آن همراه خواهد بود. لذا اندازه گیری و تحلیل ارتعاشا...

پوشش با لایه های نازک نقش بسیار مهمی در صنایع نیم رسانا ها و تجهیزات میکروالکترومکانیک و نانوالکترومکانیک دارد. با اضافه کردن یک لایه نازک به سطح به علت تداخل امواج الکترومغناطیسی، خواص تشعشعی سطح کاملا متفاوت خواهد بود. در این پروژه با استفاده از روش های الکترومغناطیسی، خواص تشعشعی یک ساختار چندلایه نازک محاسبه می شود و با استفاده از الگوریتم ژنتیک و عملیات حرارتی شبیه سازی شده، خواص چنین ساخت...

در سال های اخیر ایجاد و بکارگیری لایه نازک تیتانات زیر کونات سرب برروی زیرلایه های مختلف به خاطر پتانسیل بالای کاربرد آن در سیستم های میکروالکترومکانیکی(mems) موضوع بسیار قابل توجهی بوده است. در این پژوهش لایه های کامپوزیتی سرامیک/سرامیک 0-3 تیتانات زیرکونات سرب pb(zr0.52ti0.48)o3 با استفاده از روش سل ژل هیبریدی بر روی زیر لایه های مختلف ایجاد شد. اثر اندازه پودرهای اضافه شده و نسبت های وزنی مخ...

مواد پیزوالکتریک با توجه خاصیت ذاتی منحصر به فردی که در تبدیل انرژی میکانیکی به انرژی الکتریکی و برعکس دارند،مناسب ترین گزینه جهت استفاده از انرژی های متقابل میباشند. با توجه به پیشرفت اخیر در علم پزشکی از ایمپلنت های مختلفی جهت کاربرد های مختلف از جمله اندازه گیری فشار خون،تزریق انسولین به بدن و... استفاده میشود که نمونه پیشرفته این دستگاه ها بی سیم بوده و توان مورد نیاز آن ها از طریق باتری تا...

سنسورهای میکروالکترومکانیکی فشار به دلیل سهولت ساخت، هزینه پایین، روش اندازه گیری ساده، محدوده گسترده فشار مورد اندازه گیری و دقت اندازه گیری بالا محبوبیت بسیاری دارند. در این پژوهش، رفتار مکانیکی یک میکروسنسور فشار پیزورزیستیوی به روش المان محدود شبیه سازی شده است. اعمال فشار به مرکز دیافراگم سبب ایجاد تنش های طولی و عرضی در پیزورزیستیوها می شود و تنش های ایجادشده در پیزورزیستیوها باعث تغییر م...

این پژوهش به تحلیل استاتیکی و دینامیکی میکروتیر یکسر درگیر با تحریک پیزوالکتریک می پردازد. میکروتیر به صورت یک تیر اویلر برنولی در نظر گرفته شده و یک لایه پیزوالکتریک روی آن لایه نشانی می شود. تحریک پیزوالکتریک از طریق اعمال ولتاژ بین سطوح بالا و پایین لایه پیزوالکتریک به میکروتیر وارد می گردد. همچنین برای استخراج معادلات حرکت، روش همیلتون مورد استفاده قرار می گیرد. معادلات حرکت یک بار با فرض غ...

میرایی ترموالاستیک مهم ترین عامل اتلاف انرژی سازه های مرتعش از جمله تشدید کننده ها در مقیاس میکرو و نانو در دمای اتاق می باشد. در این مقاله، ابتدا معادلات کوپل شده و غیرخطی حاکم بر ارتعاشات متقارن محوری جانبی ورق دایره ای با سرعت زاویه ای ثابت حول محور مرکزی به دست آمده است. سپس حل با روش المان محدود به کمک نرم افزار ansys انجام و ضریب کیفیت برحسب ابعاد، دما و سرعت دورانی ورق به دست آمده است. د...