سیستم های میکروالکترومکانیکی عموماً بر اساس نوع مکانیزم تحریکشان طبقه بندی می شوند. یکی از مهم ترین مکانیزم های تحریک این سیستم ها، تحریک الکتروستاتیک می باشد. مطالعه میکروحسگرها و میکرومحرک ها که به وسیله نیروی الکتروستاتیک تحریک می شوند به دلیل مزایای بسیارشان که آن ها را تبدیل به بخش اصلی بسیاری از سوئیچ ها، میکروآینه ها و میکرورزوناتورها کرده است، از اهمیت زیادی برخوردار است. در بخش اول ای...

این پایان نامه به مدلسازی اجزای محدود برای پاسخ های استاتیکی و دینامیکی میکروآینه ها در سیستم مقطع نگاری همدوسی نوری می پردازد. روش اجزای محدود یک روش عددی حل عددی می باشد که با استفاده از آن می توان سیستم های میکروالکترومکانیکی (mems) را مدلسازی کرد. مقطع نگاری همدوسی نوری یک روش تصویر برداری نوری با دقت تفکیک پذیری طولی و عرضی بالا می باشد. دقت تفکیک پذیری طولی ثابت و به طول موج منبع نوری بست...

روی آوردن به سمت انتقال تمام نوری اطلاعات از هم اکنون یک ضرورت انکار ناپذیر است . تکنولوژی mems امکان مجتمع سازی اجزای نوری و مینیاتوری کردن سیستم ها را فراهم ساخته است که منجر به افزایش قابلیت اعتماد و توانمند سازی بسیار زیاد سیستمهای نوری می گردد. میکروآینه ها به تعداد زیاد در آرایه های مختلف با دقت زوایای انعکاسی بسیار دقیقی تولید شده اند در این طرح اشعه نوری تابیده شده از فیبر ورودی به یک م...