ژورنال:
:پژوهش فیزیک ایران
0
ندا جودی
n joudi 1- department of electronic, maleke ashtar university, lavizan,tehran, iran. مجتمع برق و الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران رضا اسدی
r asadi 1- department of electronic, maleke ashtar university, lavizan,tehran, iran. مجتمع برق و الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران پیام حیدری
p heydari 2- department of mechanical engineering, islamic azad university roudehen branch, iran. دانشکده مکانیک، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد رودهن مریم گنجی
m ganji 1- department of electronic, maleke ashtar university, lavizan,tehran, iran. مجتمع برق و الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران
در این مقاله فشارسنج و شتاب سنج نوری جدیدی مبتنی بر ادوات میکروالکترواپتومکانیک با استفاده از تداخل سنج ماخ - زندر مجتمع در دریچه لیتیوم نیوبات طراحی شده است. در این حسگر با اعمال فشار و شتاب، دریچه دچار کرنش می شود و به علت اثر فوتوالاستیسیته تغییرات ضریب شکست در موج بر نوری واقع در دریچه ایجاد می شود. تغییر ضریب شکست، باعث تأخیر فاز نور منتشر شده در موج بر گردیده و این تغییر فاز توسط تداخل سن...