هدف از اجرای این پایان نامه طراحی و شبیه سازی یک سنسور فلوسنج با تکنولوژی میکروماشین جهت اندازه گیری میزان گاز طبیعی مصرفی می باشد، تا با استفاده از قابلیت های mems اندازه گیری فلوی گاز دقیقتر صورت گرفته و نیز احتمال تقلب که در فلوسنج های مکانیکی سنتی وجود دارد کاهش یابد.
در سنسور طراحی شده، حرکت گاز طبیعی که یک سیال است، قسمت معلق و آزاد ساختار سنسور را جابه جا کرده و به این ترتیب سرعت آن ان...
