چکیده: قطعات mems بدلیل مزایایی از قبیل توان تلفاتی کم، نویز، وزن و قیمت کمی که دارند بسیار مورد توجه قرار گرفته اند و امروزه در سیستم های rf فرکانس بالا بسیار مورد استفاده قرار می گیرند. یکی از مهمترین المانهایی که قطعات mems دارند سوئیچ ها می باشند که دارای قابلیت مجتمع سازی هستند. سوئیچ ها در مقایسه با قطعات نیمه هادی از توان مصرفی خیلی پایین، فرکانس قطع بالا، تلفات داخلی کمتر و همچنین ایزو...

فناوری سیستم های میکروالکترومکانیک، فناوری دستگاه های بسیار کوچک است و آن را در مقیاس نانو به سیستم های نانوالکترومکانیکی و فناوری نانو درمی آورد. اگرچه این فناوری در حال حاضر به روش آزمون و خطا طراحی می شود، اما حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرک ها و قطعات الکترونیکی روی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشه های میکرونی است. تولید سیستم های میکروالکترومکانیکی به کمک یکی از بنیادی ترین ...

با توسعه ریزفناوری میکروماشین کاری و میکروالکترونیک، میکروهیترها کاربردهای زیادی در میکروحسگرها پیدا کرده اند. جنس الکترود گرم-کننده یکی از عوامل تاثیرگذار در میزان اتلاف توان، پاسخ زمانی و حساسیت میکروهیتر می باشد. در این مقاله دو میکروهیتر با هندسه یکسان، اما با دو فلز مختلف بر روی بستر سیلیکون و بر پایه فناوری میکروماشین کاری حجمی (mems) طراحی، ساخته و مشخصه یابی شده اند. در میکروهیتر اول از...

در این تحقیق بر توسعه مدل دینامیکی و بهبود رفتار دینامیکی سیستم های میکروالکترومکانیکی و افزایش مقاومت آنها در برابر عدم قطیعت های ذاتی سیستم تمرکز شده است. سیستم های میکروالکترومکانیکی معمولاً ساختارهایی میکروسکوپی از سیلیکون هستند که با اجزای مکانیکی و الکترونیکی ترکیب می شوند. نارسایی‏های فرآیند ساخت در ابعاد میکرو به دلیل جدید بودن این فناوری و تغییرات شرایط محیط که همواره بر عملکرد دستگاه ت...

در این پژوهش دو ساختار جدید از سوئیچ سری تحریک الکتروستاتیک با استفاده از تکنولوژیmemsارائه می شود. طراحی هندسی ساختار اول با استفاده از دو فنر ال-شکل که بین بیم و تکیه گاه تعبیه شده اند,انجام شده است. که در این طراحیبه علت سطح تماس بیشتر فنرها با سطح مقطع بیم نواحی تنش افزایش یافته و باعث کاهش مقاومت ساختار در اثر اعمال نیرو می شوند. این فنرها نیروی بازگرداننده ی پایینی فراهم می کنند که این با...

امروزه میکروپمپ های غیرمکانیکی به عنوان محرک چرخه های میکروسیالی در بسیاری از صنایع، نظیر الکترونیک و پزشکی کاربرد دارد و به لحاظ برخورداری از ویژگی های مناسب مورد توجه روزافزون است. در این بررسی میکروپمپ های تغییر فازی به عنوان نوع جدیدی از میکروپمپ های غیرمکانیکی مورد مطالعه قرار می گیرد. در این راستا ابتدا با استفاده از تحلیل ابعادی، اعداد بی بعد مؤثر بر دبی حجمی میکروپمپ تغییر فازی مشخص شده...