بی شک یکی از مهمترین پیشرفت های قرن اخیر ساخت و تولید سیستم های میکرو الکترو مکانیکی بوده است که با پیشرفت های زیادی در زمینه های تولید و ساخت همراه بوده است.یکی از مهمترین آن ها سنسورهای میکروتیری هستند.این حسگرها از یک میکرو کانتیلور جهت تشخیص برخی از گازها استفاده میکنند. اصول کار به این شکل است که با عملیاتی بر روی سطح یک میکرو تیر یک سر گیردار این تیر نسبت به گاز خاص موجود در هوا حساس میش...

در این تحقیق کنترل فرایند در ژیروسکوپ های ارتعاشی میکرو الکترو مکانیکی (mems) مورد بررسی قرار گرفته است. ژیروسکوپ مورد بررسی از نوع ارتعاشی حلقوی با پره های اتصال دهنده حلقه به پایه می باشد، که زیر مجموعه ژیروسکوپ های موجی جامد است. جهت مدلسازی المان حساس ژیروسکوپ (پوسته ارتعاشی) از روش لاو استفاده شده و پاسخ آن به کمک نرم افزار matlab استخراج شده است. در ادامه به کمک روش انرژی و استخراج انرژ...

در این مقاله اثر نفوذ جرم بر روی ضریب میرایی در میکرو تیرهای تشدید کننده بر اساس تئوری کوپل تنش و فرضیات تیر اویلر- برنولی تحقیق شده است. تئوری کوپل تنش یک تئوری الاستیسیته غیر کلاسیک میباشد که میتواند اثرات اندازه را در ریز ساختارها بررسی کند. معادله حاکم بر خیز تیر با استفاده از اصل همیلتون بدست آمد و نیز معادله حاکم بر میرایی دمایی نفوذی ارتجاعی توسط معادله انتقال حرارت غیر فوریه دو بعدی و م...

امروزه، از سیستم ناوبری اینرسی (ins)و سیستم تعیین موقعیت جهانی (gps)، در کاربردهای مختلف ناوبری و تعیین موقعیت استفاده می شود. هر کدام از دو سیستم نامبرده مزایا و معایبی دارند؛ تلفیق gps/ins، در طول دو دهه اخیر، برای غلبه بر معایب هر یک از دو سیستم (مشکل لزوم وجود دید آسمانی بین آنتن گیرنده و ماهواره در gpsو مشکل افزایش سریع خطا با زمان در ins) توسعه داده شده است. در سیستم های تلفیق از مشاهدات ...

ژیروسکوپها از دیرباز نقش بسیار مهمی را در جهتیابی و اندازه گیری سرعت زاویه ای در جهات گوناگون، در صنایع مختلف بر عهده داشته اند. با توجه به پیشرفت سریع علوم و فناوریهای نوین و توسعه صنایع مختلف، استفاده از وسایل جدید برای اندازه گیری با دقت بالا در جهات مختلف برای خودروها و هواپیماها امری ضروری است. از پیدایش اولین ژیروسکوپ میکرو الکترومکانیکی بیش از دو دهه نمی گذرد، اما ویژگی های بارز این ن...

محرک های حرارتی و الکتروحرارتی به طور گسترده در سیستم های میکروالکترو مکانیکی به کار گرفته می شوند. اصول عملکرد این میکرومحرک ها مبتنی بر انبساط حرارتی است که ناشی از اثر گرمایش ژول می باشد.زمانی که جریان الکتریکی از ماده عبور می کند، به دلیل مقاومت الکتریکی موجود در ماده، ماده گرم و منبسط می شود، که این اثر گرمایش ژول یا گرمایش مقاومتی نامیده می شود. انتقال گرما در اطراف و از میان این میکروساخ...

بعد از آشنایی کافی در مورد ادوات mems به طور کامل انواع شتاب سنج ها را مورد بررسی قرار دادیم و پس از آن در مورد نوع پرکاربردتر شتاب سنج ها که همان شتاب سنج خازنی mems است به توضیح و تفسیر بیشتری پرداختیم و انواع مختلف آن را که تقسیم می شود به تک محوره، دو محوره و سه محوره به طور کامل تشریح کردیم و در مرحله بعد کاربرد شتاب سنج در خودرو را مورد بررسی قرار دادیم و طبق شتاب لازمه برای تشخیص تصادف خ...

با رشد روزافزون فناوری‌های ساخت ابزار و سیستم‌ها در مقیاس نانو و میکرو، توجه محققان به‌سمت طراحی و ساخت حسگرها و عملگرهایی برای کنترل و پردازش رفتار این سیستم‌ها در مقیاس‌های کوچک جلب شده است. سیستم‌های میکرو‌ الکترو مکانیکی حاصل تلاش و تحقیق محققان در حوزه‌های مهندسی مکانیک، برق، شیمی و متالورژی در مسیر ساخت میکرو‌حسگرها و میکرو‌عملگر‌هاست. این سیستم‌ها - که آنها را به‌اختصار ممز[i]<...

توسعهی چشمگیر استفاده از سیستم های میکرو/نانو در صنایع پزشکی، الکترونیکی، مکانیکی و فضایی تحلیل و بررسی رفتار جریان را در میکرو/نانو ساختار ها ضروری می نماید. هدف اصلی پروژه ی حاضر تحلیل جریان رقیق شده ی هندسه ی دوبعدی میکرو/نانوکاویتی حرارتی با استفاده از روش شبیه سازی مونت کارلو و بررسی انتقال حرارت این جریان تحت شارحرارتی ثابت دیواره است. برای این منظور ابتدا در یک کد پایه عددی dsmc، الگوریت...

این پایان نامه به بررسی اثرات پارامتر مقیاس طول روی پایداری و فرکانس اصلی میکرو صفحات مستطیلی و دایره ای می پردازد که در دستگاه های rf mems کاربرد دارند. با استفاده از تئوری تنش کوپل پیراسته، معادلات حاکم بر میکرو صفحات کیرشهف و میندلین با تحریک الکترو استاتیکی استخراج می شوند. محدوده ی پایداری میکرو صفحات بر پایه ی تئوری تنش کوپل پیراسته تعیین شده و با مقادیر به دست آمده از تئوری کلاسیک مقایسه...