انجام فرآیندهای تکرارپذیر توسط دستگاه های تحت پلاسمای rf یکی از مهم ترین نیازهای سازندگان تجهیزات میکروالکترونیک می باشد. بر مبنای این نیاز، دستگاهی طراحی و ساخته شد که با سرعت، دقت و انعطاف پذیری بالا عملیات تطبیق امپدانس مولد rf به محفظه ی پلاسما را انجام می دهد. برای این منظور مداری طراحی شد که امپدانس محفظه ی پلاسما را به دست می آورَد و در نتیجه به کمک آن می توان از «الگوریتم های تطبیق بر مب...

آرایه دوتایی از المان های تک قطبی پلاسمایی با تحریک موج سطحی با روش عددی fdtdمورد تحلیل و ارزیابی قرار می گیرد. با تغییر توان تحریک المان های پلاسمایی، آرایه ای حاصل می شود که می تواند برای فرکانس های کاری مختلف مجدداً تغییر شکل دهد. المان های پلاسمایی با توان rfدر فرکانس 500 مگاهرتز و فشار گاز آرگون 4/0میلی بار از طریق تقسیم کننده توان هم فاز و هم دامنه تغذیه می شوند. نتایج نشان می دهند که تغیی...

چکیده: در این رساله انواع راکتور های پلاسما مورد بررسی قرار می گیرد، در انواع مختلف این راکتور ها، پلاسما خاصیت خازنی شدید نظیر راکتورهای پلاسمای تخلیه روشن همگن فشار اتمسفر و کرونا و یا خاصیت سلفی شدید مانند راکتورهای پلاسمای کوپل القایی را دارا می باشد در نتیجه انتقال توان از منبع سوئیچینگ به بار به طور کامل صورت نمی گیرد. بدیهی است ا نتقال توان تأثیری در مشخصات دائمی پلاسما ندارد اما موجب م...

آرایة دوتایی از المان‌های تک‌قطبی پلاسمایی با تحریک موج سطحی با روش عددی FDTDمورد تحلیل و ارزیابی قرار می‌گیرد. با تغییر توان تحریک المان‌های پلاسمایی، آرایه‌ای حاصل می‌شود که می‌تواند برای فرکانس‌های کاری مختلف مجدداً تغییر شکل دهد. المان‌های پلاسمایی با توان RFدر فرکانس 500 مگاهرتز و فشار گاز آرگون 4/0میلی‌بار از طریق تقسیم‌کنندة توان هم‌فاز و هم‌دامنه تغذیه می‌شوند. نتایج نشان می‌دهند که تغیی...

سر و صدا، به عنوان صدای ناخواسته تعریف شده است که یکی از مهمترین عوامل زیان آور محیط زیست است. تلاش¬های زیادی برای به کارگیری روش¬های مؤثر کاهش آلودگی صوتی، صورت گرفته است. استفاده از مواد جاذب صوت به عنوان یکی از مؤثرترین راهها برای کنترل صدای ناشی از بازتابش سطوح می¬باشد. الیاف یکی از مناسبترین مواد برای کاربرد در جاذب-های صدا می¬باشد. در این تحقیق، نانوکامپوزیت¬های جاذب صوت پلی¬اتیلن کلرینه ...

مولّد فرکانس رادیویی 600 وات با فرکانس 13.56 مگاهرتز در حقیقت یک منبع سیگنال سینوسی در محدوده ی فرکانس های رادیویی است که می تواند توانی معادل با 600 وات را به یک بار الکتریکی 50 اهمِ خالص تحویل دهد . فرکانس 13.56 مگاهرتز قسمتی از باند فرکانس رادیویی است که به کاربردهای علمی، صنعتی و پزشکی اختصاص داده شده است. کاربرد خاص این مولّدهای فرکانس رادیویی تولید پلاسمایی خاص، موسوم به پلاسمای rf است. بعضاً...

در این پایان نامه، ابتدا به تئوری چشمه ی پلاسمای فرکانس رادیویی 56/13 مگاهرتز فشار اتمسفری می پردازیم. پلاسمای سرد تخلیه ی تابان سد دی الکتریک با گاز آرگون در یک ساختار الکترودی استوانه ای ایجاد خواهد شد و با استفاده از بیناب سنجی گسیل نوری به شناسایی گونه های پلاسمایی تولید شده و نیز تعیین دما و چگالی الکترون خواهیم پرداخت. خطوط بینابی آرگون اتمی، آرگون یک بار یونیزه و نیز خطوط گسیلی از اتم مس...

امپدانس اتصال کوتاه به عنوان یکی از پارامترهای مهم ترانسفورماتورها در زمان طراحی و بهره برداری مطرح است. در این مقاله با بررسی روشهای متداول محاسبه امپدانس اتصال کوتاه در ترانسفورماتورها روش جدیدی به نام روش انرژی مطرح می شود که بر اساس محاسبه انرژی الکترومغناطیسی ذخیره شده در ترانسفورماتور امپدانس اتصال کوتاه آن تعیین می شود. استفاده از این روش منجر به یافتن مقدار تحلیل امپدانس اتصال کوتاه شده...

در این تحقیق اثر احتمالی امپدانس الکترود مرجع بر امپدانس الکترود کار مورد بررسی قرار گرفته است. بدین منظور سامانه‌های مختلف الکترود/الکترولیت با امپدانس‌های مختلف همراه با الکترودهای مرجع با امپدانس مختلف مورد آزمایش اسپکتروسکوپی امپداتس الکتروشیمیایی (EIS) قرار گرفت. در آزمایشات، محدوده امپدانس الکترودهای کار 1 و 10کیلو اهم – سانتی‌متر مربع و محدوده امپدانس الکترودهای مرجع در محدوده 1 تا 10 کی...