نتایج جستجو برای: rf pecvd
تعداد نتایج: 34809 فیلتر نتایج به سال:
Preferential Growth of Semiconducting Single-Walled Carbon Nanotubes by a Plasma Enhanced CVD Method
Single-walled carbon nanotubes (SWNT) are grown by a plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method at 600 °C. The nanotubes are of high quality as characterized by microscopy, Raman spectroscopy, and electrical transport measurements. High performance field effect transistors are obtained with the PECVD nanotubes. Interestingly, electrical characterization reveals that nearly 90% of ...
In this work a novel, high quality, high-density, 100% yield, deposited at room temperature ultra thin 5nm Si3N4 Metal Insulator Metal (MIM) capacitor process for Monolithic Millimetre-wave Integrated Circuits (MMMICs) applications is demonstrated using inductively coupled plasma enhanced chemical vapor deposition technique (ICP-CVD). Capacitance of 6.7fF/μm and a breakdown electric field of mo...
نانولایه های کربن شبه الماسی به دلیل داشتن خواص منحصربه فردی که به خواص الماس طبیعی نزدیک است کاربردهای عملی فراوانی یافته اند.خواصی مانند سختی مکانیکی بالا شفافیت اپتیکی و عدم خوردگی. این لایه ها به عنوان پوشش های محافظتی به طور گسترده در صنایع خودروسازی و پزشکی مورد استفاده قرار می گیرد. یکی از خصوصیات مهم dlc مقاومت الکتریکی بالای این لایه ها است. در برخی کاربردهای الکتریکی لایه هایی با رس...
This paper studies the nucleation and growth of vertical carbon nanotube array on 2-dimensional graphene elaborates impact plasma same. It observes an analytical model Carbon Nanotubes (CNT) wonder material, Graphene has been developed. The includes CNTs Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD) technique where consists hydrocarbon hydrogen radicals neutral molecules using gas mixture ...
It is well recognized that the stress of the SiNx layer in GaAs-based device structures can impact the electrical performance and lead to degradation. For GaAs MESFET and HEMT devices, it has been demonstrated not only the magnitude of the stress but also the stress state, compressive or tensile, can affect the performance [1]. Stressinduced failure via microvoid formation in SiNx MIM capacitor...
This paper presents work aimed at optimizing the fabrication of silicon nitride Si(x)N(y) thin-film visible-light planar waveguides using plasma-enhanced chemical vapour deposition (PECVD). The effects of plasma frequency, precursor gas ratio, and thermal annealing in relation to waveguide optical properties (refractive index, propagation losses) are studied. Experimental results over a wide ra...
The principal object of this paper is to develop a neural network model, which can simulate the plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) process in TFT-Array procedure. Then the Boolean logic rules are extracted from the trained neural network in order to establish a knowledge base of expert system. The input data of neural network was collected form the process parameters of PECVD mac...
نانوذرات نقره در بستری از لایه های کربن شبه الماسی به روش لایهنشانی همزمان کندوپاش با امواج رادیویی و انباشت شیمیایی بخار، به کمک پلاسما و با استفاده از گاز عامل استیلن و هدف نقره ساخته شد. از آنجا که شرایط ساخت، همچون فشار اولیه و توان منبع امواج رادیویی ثابت نگه داشته شده بود، با تغییر زمان انباشت تغییر فازی در نوع دانه بندی، خواص الکتریکی و اپتیکی این لایه ها مشاهده شد که مورد تجزیه و تحلیل...
نمودار تعداد نتایج جستجو در هر سال
با کلیک روی نمودار نتایج را به سال انتشار فیلتر کنید