نتایج جستجو برای: rf pecvd
تعداد نتایج: 34809 فیلتر نتایج به سال:
لایه های کربن شبه الما سی (dlc) خواصی شبیه الماس دارند. از جمله ی این خواص مقاومت مکانیکی بالا، شفافیت اپتیکی، هدایت حرارتی بالا و گاف انرژی بزرگ نام برد. یکی از خواص مهم کربن شبه الماسی مقاومت الکتریکی بالای این لایه هاست که موجب محدودیت کاربرد آن می گردد. افزودن ناخالصی فلزی در هنگام ساخت لایه تا حدود زیادی خاصیت رسانندگی لایه های dlc را بهبود می بخشد. در این تحقیق با استفاده از فرایندلایه ن...
در این بررسی لایه نازک کربن شبه الماسی بر سلول خورشیدی سیلیکونی پلی کریستال نوع P با استفاده از دو گاز هیدروژن و متان به روش رسوب شیمیایی بخار تقویت شده به کمک پلاسما با منبع تغذیه فرکانس رادیویی (RF-PECVD) اعمال گردید. سپس چسبندگی پوشش به زیرلایه، ساختار کریستالی، نوع پیوندها، نسبت هیبریداسیون SP2 به SP3، توپوگرافی و مورفولوژی سطح پوشش به ترتیب به وسیله روشهای آزمون نوار چسب، پراش پرتو...
Roll-to-roll (RTR) process requires a linear surface treatment source in various processes such as pre-treatment, etching, and deposition. For high speed and large width processes the linear source should have superior characteristics that can be applied to 100~300 m/mim process and large width treatment up to 2 m. Several linear surface treatment sources have been proposed to the RTR process. ...
Quantum confinement (QC) typically assumes a sharp interface between a nanostructure and its environment, leading to an abrupt change in the potential for confined electrons and holes. When the interface is not ideally sharp and clean, significant deviations from the QC rule appear and other parameters beyond the nanostructure size play a considerable role. In this work we elucidate the role of...
In recent years, a number of advantages such as modification of nano-crystalline thin films, the ability for low-temperature deposition processes, the controlling of process, as well as high efficiency and repeatability of process, were offered using plasma deposition technique [1]. Silicon carbide (SiC) as a leading candidate for the replacement of Silicon (Si) for hightemperature and power el...
In recent years, a number of advantages such as modification of nano-crystalline thin films, the ability for low-temperature deposition processes, the controlling of process, as well as high efficiency and repeatability of process, were offered using plasma deposition technique [1]. Silicon carbide (SiC) as a leading candidate for the replacement of Silicon (Si) for hightemperature and power el...
Diamond like carbon (DLC) films were deposited on Si and then patterned to form 40 nm features as nanoimprint templates. A plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) system with CH4 precursor was used to deposit DLC films on Si and quartz substrates. These films were then characterized using Raman spectroscopy, atomic force microscopy (AFM), nanoindentation, and contact angle measurement...
نمودار تعداد نتایج جستجو در هر سال
با کلیک روی نمودار نتایج را به سال انتشار فیلتر کنید