نتایج جستجو برای: rf pecvd
تعداد نتایج: 34809 فیلتر نتایج به سال:
In this work, silicon nitride thin films have been deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD) on both silicon samples and AlGaN/GaN High Electron Mobility Transistors (HEMT) grown on sapphire substrates. Commercial parallel-plate RF plasma equipment has been used. During depositions, the dissociation rates of SiH4 and NH3 precursors and the formation of H2 and N2 have been ...
نانو ذرات طلا به وسیله لایه نشانی هم زمان روشهای rf-pecvd و rf sputtering از هدف طلا در محیطی از گاز استیلن، در دمای اتاق و توان ثابت rf، بر بستر نانو لوله های کربنی رشد داده شد. از روش انباشت بخار شیمیایی حرارتی tcvd بر پایه کاتالیست پا لادیم برای رشد نانولوله های کربنی استفاده شد .پالادیم معلق در استن به روش لایه نشانی اسپینی به صورت همگن برروی زیر لایه کوارتزی لایه نشانی شد. برای تعداد دفعات...
Investigasi Pengaruh Daya RF terhadap Morfologi Silicon Nanowire pada Penumbuhan dengan Metode PECVD
در این بررسی لایه نازک کربن شبه الماسی بر سلول خورشیدی سیلیکونی پلی کریستال نوع p با استفاده از دو گاز هیدروژن و متان به روش رسوب شیمیایی بخار تقویت شده به کمک پلاسما با منبع تغذیه فرکانس رادیویی (rf-pecvd) اعمال گردید. سپس چسبندگی پوشش به زیرلایه، ساختار کریستالی، نوع پیوندها، نسبت هیبریداسیون sp2 به sp3، توپوگرافی و مورفولوژی سطح پوشش به ترتیب به وسیله روشهای آزمون نوار چسب، پراش پرتو...
نمودار تعداد نتایج جستجو در هر سال
با کلیک روی نمودار نتایج را به سال انتشار فیلتر کنید