امروزه با کمک فناوری ساخت لایه های نازک، به صورت گسترده از سرامیک های پیزوالکتریک در ساخت سیستم های میکروالکترومکانیک (mems) استفاده می شود. در پروژه حاضر سرامیک پیزوالکتریک تیتانات زیرکونات سرب (pzt) با فرمول pb(zrx, ti1-x)o3 به صورت لایه با ضخامت یک میکرون بر روی زمینه سیلیکون پوشش دهی شده با تیتانیوم و پلاتین (si/ti/pt) و به روش کندوپاش مغناطیسی rf راسب می شود. از لایه نازک پلاتین به عنوان ا...

سنسورهای میکروالکترومکانیکی فشار به‌دلیل سهولت ساخت، هزینة‌ پایین، روش اندازه‌گیری ساده، محدودة گستردة فشار مورد اندازه‌گیری و دقت اندازه‌گیری بالا محبوبیت بسیاری دارند. در این پژوهش، رفتار مکانیکی یک میکروسنسور فشار پیزورزیستیوی به روش المان محدود شبیه‌سازی شده است. اعمال فشار به مرکز دیافراگم سبب ایجاد تنش‌های طولی و عرضی در پیزورزیستیوها می‌شود و تنش‌های ایجادشده در پیزورزیستیوها باعث تغییر ...

با توجه به کاربردهای فراوان نانو ورق های کربنی در سیستم های میکروالکترومکانیک و نانوالکترومکانیک، وجود یک سنسور و محرک در سطح بالایی یا پایینی آن می تواند به کارایی آنها بیافزاید. در این تحقیق، پاسخ دینامیکی، ارتعاشات و کمانش دینامیکی غیرخطی به همراه انتشار موج یک نانو ورق ساندویچی پیزوالکتریک تحلیل شده است. هسته این نانو ورق از یک نانو ورق کربنی ارتوتروپیک ویسکوالاستیک تحت میدان مغناطیسی است ک...

ضربان سازهای مصنوعی قلب سیستم های الکترونیکی هستند که در مواقع نارسایی یا ایجاد اختلال در مکانیزم طبیعی عملکرد قلب می توانند جهت تنظیم و یا تقویت ضربان آن مورد استفاده قرار گیرند. در کنار پیشرفتهای انجام شده در طراحی مدارات الکترونیکی بکار رفته در این وسیله، توجه به منبع توان آن نیز همواره حایز اهمیت بوده است. در این وسیله نیاز به داشتن منبع توانی با چگالی انرژی بالا، که برای مدت طولانی (بیش ...

همگام با پیشرفت های اخیر در سیستم های میکروالکترومکانیک، با مفهوم شبکه های حسگر بی سیم آشنا می شویم. این نوع شبکه ها متشکل از تعداد زیادی گره ارزان قیمت با قابلیت پردازش و ارتباط بی سیم هستند که با استفاده از حسگرهایی که در اختیار دارند بر مشخصه های محیط (دما، رطوبت، صوت و...) نظارت می کنند. گاه دانستن مختصات محل سنجش آن مشخصه به اندازه ی دریافت آن اهمیت پیدا می کند. الگوریتم های مکان یابی وظیف...

در این مقاله، یک میکروحسگر شتاب با طرحی ساده، هزینه ساخت پائین، حجم و وزن کم و همچنین حساس به شتاب‌های بسیار کوچک با قابلیت اندازه‌گیری شتاب در دو محور طراحی شده است. در طرح پیشنهادی از روش حرارتی - همرفتی برای اندازه‌گیری شتاب استفاده شده است. این میکرو حسگر شامل یک المان گرم‌کننده (هیتر) و دو جفت حسگر دما (دیتکتور) می‌باشد. با اعمال شتاب در راستای محور X یا Y دمای دیتکتورها متناسب با شتاب اعم...

در این مقاله یک هیدروفن با استفاده از ترانزیستور گیت معلق دندانه شانه ای در فرکانس‌های پایین طراحی و شبیه‌سازی شده است. مکانیزم عملکرد این مبدل بر اساس تغییر خازن گیت-سورس در ترانزیستور ماسفت است. گیت ترانزیستور توسط دو میله به صورت معلق بالای کانال ترانزیستور قرار گرفته است. در پاسخ به موج آکوستیکی ورودی، گیت ترانزیستور دچار خمش شده و منجر به تغییر ظرفیت خازن گیت-سورس می‌شود. در نتیجه موج آکوس...