در دهه¬های اخیر فناوری ساخت ابزاردقیق در ابعاد بسیار ریز رشد فزاینده¬ای پیدا کرده و استفاده از میکرو حسگرها در حوزه های فراوانی گسترش یافته است. ساخت حسگرها در مقیاس میکرونی در مقایسه با حسگرهای سنتی دارای قیمت کم، اندازه کوچک و مصرف کم می¬باشند. سیستم¬های میکرو¬الکترومکانیک تحولی نوین هستند که با قیمتی کم وسرعتی بالا با کمک فناوری ساخت مدارات مجتمع ساخته می¬شوند و به تراشه¬ حسابگر مدارات مجتمع...

پوشش با لایه های نازک نقش بسیار مهمی در صنایع نیم رسانا ها و تجهیزات میکروالکترومکانیک و نانوالکترومکانیک دارد. اطلاع از خواص تشعشعی ساختارهای چند لایه ای بسیار نازک، کاربردهای زیادی در صنایع میکروالکترونیک، تبدیل انرژی و نانو فناوری دارند. در سال های اخیر، علم لایه های نازک در میان سایر علوم رشد قابل ملاحظه ای داشته و حجم وسیعی از تحقیقات را به خود اختصاص داده است. بی شک رشد چشمگیر ارتباطات، پ...

در پژوهش حاضر رفتار ارتعاشی میکروتیر ژیروسکوپی با ساختار تیر بررسی می گردد. میکروژیروسکوپ دارای یک تیر یکسرگیردار و یک جرم گواه گسترده ای است که توسط میدان الکتریکی تحریک می گردد. بر مبنای گستردگی جرم گواه یک مدل و فرمولاسیون توسعه یافته برای بررسی ناپایداری و رفتار ارتعاشی میکروژیروسکوپ ارائه می گردد. با در نظر گرفتن جرم گواه به صورت گسترده، توزیع نیروهای الکترو استاتیک از حالت متمرکز به گسترد...

فناوری سیستم‌های میکروالکترومکانیک، فناوری دستگاه‌های بسیار کوچک است و آن را در مقیاس نانو به سیستم‌های نانوالکترومکانیکی و فناوری نانو درمی‌آورد. اگرچه این فناوری در حال حاضر به روش آزمون و خطا طراحی می‌شود، اما حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرک‌ها و قطعات الکترونیکی روی یک لایة سیلیکون به‌کمک فناوری ساخت تراشه‌های میکرونی است. تولید سیستم‌های میکروالکترومکانیکی به‌کمک یکی از بنیادی‌ترین ...

پدیده‌ی «کشیدگی» یک حالت بحرانی است که در بسیاری از وسایل میکروالکترومکانیک مانند حسگرها، عملگرها و سوئیچ‌های میکروالکترونیک اتفاق می‌افتد. تعیین ولتاژی که این پدیده در آن رخ می‌دهد ظرفیت و محدوده‌ی بهره‌برداری این‌گونه وسایل را مشخص می‌کند. در تحقیقات گذشته، با استفاده از روش‌های شبیه‌سازی جرم فشرده، گسسته‌سازی سیستم و نیز تحلیل‌های آزمایشگاهی، برای تعیین ولتاژ کشیدگی میکروورق دایروی کارهایی ا...

پوشش با لایه های نازک نقش بسیار مهمی در صنایع نیم رسانا ها و تجهیزات میکروالکترومکانیک و نانوالکترومکانیک دارد. اطلاع از خواص تشعشعی ساختار های چند لایه ای شامل سیلیکون و مواد فلزی مانند طلا، نقره و مس با پارامترهای متفاوت، جهت کاربردهای سیستمهای کوچک ضروری است. در این پروژه اثر پارامترهای گوناگون بر روی خواص تشعشعی ساختارهای چند لایه ای نانو مقیاس را شرح می دهد. از سیلیکون آلاییده کم استفاده ...

مقدمه: امروزه در راستای مقاوم¬سازی ساختارهای بلند مرتبه که لقب آسمان خراش گرفته¬اند در مقابل حوادثی همچون زلزله و بررسی رفتار آنها در برابر باد کارهای جدی صورت گرفته است. لذا به لحاظ اهمیت این موضوع که با جان انسان¬ها در ارتباط است به ویژه در ایران که بر روی کمربند زلزله¬ای قرار دارد طرح¬ها و راهکارهای مختلفی توسط دانشمندان بررسی شده است. یکی از این راه¬ها برای پیاده-سازی یک زلزله واقعی، طراحی ...

یکی از اساسی ترین مشکلات وسایل قابل کاشت پزشکی که با باتری کار می کنند، تامین منبع انرژی با طول عمر بالا است. از این جهت باتری های اولیه بعد از گذشت زمان، عملکرد اولیه خود را از دست می دهد و کارآیی لازم برای وسایل پزشکی قابل کاشت در بدن را ندارند. با استحصال انرژی از بدن انسان برای وسایل قابل کاشت پزشکی می توان پیشبردی شگرف در علم پزشکی و ارتقا سطح کیفی زندگی بیماران داشت. در این پروژه به منظور...

پوشش با لایه های نازک نقش بسیار مهمی در صنایع نیم رسانا ها و تجهیزات میکروالکترومکانیک و نانوالکترومکانیک دارد. اطلاع از خواص تشعشعی ساختار های چند لایه ای شامل سیلیکون و مواد مرتبط مانند دی اکسید سیلیکون, نیترید سیلیکون و طلا با پارامترهای متفاوت, جهت کاربردهای سیستمهای کوچک ضروری است. این پروژه اثر پارامترهای گوناگون بر روی خواص تشعشعی ساختارهای چند لایه ای نانو مقیاس را شرح می دهد. از هر دو...

چکیده در سال های اخیر، علم لایه های نازک در میان سایر علوم رشد قابل ملاحظه ای داشته و حجم وسیعی از تحقیقات را به خود اختصاص داده است. بی شک رشد چشمگیر ارتباطات، پردازش اطلاعات، ذخیره سازی، صفحه های نمایش، صنایع تزئینی، ابزارآلات نوری، مواد سخت و عایق ها نتیجه تولید لایه های نازک براساس فناوری های نوین می باشد. در ساخت لایه های نازک نیز در سال های اخیر تحولات وسیعی صورت گرفته است که خود ناشی ا...