میکرو ورق های تحریک شده الکتریکی، جزئی مهم در میکرو پمپ ها، میکرو آئینه ها، میکرو فون ها، میکروسوئیچ-های خازنی و بسیاری از میکرو حسگرها هستند. نیروی تحریک در این گونه سازه ها می تواند توسط محرک های الکتریکی، حرارتی، مغناطیسی و ... تولید گردد. در حالت استفاده از محرک الکتریکی، میدان الکترواستاتیکی با اعمال اختلاف پتانسیل بین میکرو ورق و یک الکترود ثابت ایجاد می شود. هنگامی که نیروی الکترواستاتیک...

میکروتیرها، تیرهایی که اندازه مشخصه آن ها در حدود میکرون و زیرمیکرون است، به طور گسترده ای در وسایل میکروالکترومکانیکی مورد استفاده قرار می گیرند. از این رو ارائه مدلی مناسب جهت تحلیل این اجزاء، برای یافتن پاسخ صحیح استاتیکی و دینامیکی، بسیار مهم است. تئوری های پرکاربرد کنونی در زمینه تحلیل تیرها، هر یک دارای مزایا و معایبی هستند که آن ها را برای استفاده در برخی زمینه ها مناسب می گرداند. از طرف...

رفتار پایدار و ناپایدار نانو/میکروتیرهای دوسرگیردار تحریک شده با اختلاف پتانسیل dc تحت تاثیر نیروی وندروالس در هردو حالت استاتیکی و دینامیکی در پژوهش پیش رو بررسی می گردد. در این پژوهش مدلی بر اساس تیر اولر-برنولی غیرخطی ارائه می شود که اثرات غیرخطی کشش صفحه میانی و نیروهای جاذبه الکترواستاتیک و وندروالس را با احتساب اثر تنش پسماند محوری مدنظر قرار می دهد. معادلات حاکم بر مساله با استفاده از اص...

میکروحسگرهای تشدیدی صفحه ای مستطیلی شکل از فرکانس تشدید میکروصفحات گیردار خیز برداشته در اثر اعمال اختلاف پتانسیل الکتریکی برای حس کردن استفاده می کنند. هدف پژوهش حاضر تحلیل ارتعاشات آزاد این سیستم ها به منظور بدست آوردن فرکانس تشدید آن هاست. بدین منظور تئوری بهبود یافته تنش کوپل به همراه مدل صفحه ی کیرشهف در نظر گرفته می شود و معادله حرکت وابسته به بُعد که اثرات تنش های پسماند محوری و نیروی گست...

در این پایان نامه دو نوع سیگنال تحریک برای کاهش شارژ دی الکتریک سوئیچ های خازنی میکروالکترومکانیکی معرفی می شود. هر دو شکل موج پیشنهادی به گونه ای هستند تا میزان بار تزریقی منبع کاهش یابد. میزان بار به تله افتاده در دی الکتریک و سایر پارامترهای مرتبط برای شکل موج های پیشنهادی و شکل موج هایی که تا کنون معرفی شده به-صورت عددی و تحلیلی محاسبه می شوند. شکل موج سیگنال تحریک تاثیر بسزایی در زمان کلید...

تاریخچه واحد اندازه­گیری اینرسی (IMU) به سال 1930 میلادی برمی­گردد. در آن زمان این فناوری به دلیل محدودیت­های جدی آن در اندازه، هزینه و مصرف انرژی، قابل بکارگیری در دستگاه­های کوچک و استفاده عموم نبوده است. پیشرفت­های اخیر سنجنده­های واحد اندازه­گیری اینرسی از نوع میکروالکترومکانیکی (MEMS) که بسیار سبک­تر، کوچک­تر و ارزان­تر از دیگر انواع سیستم­های اینرسی می­باشند. اما با این وجود این سیستم­ها ...

امروزه با پیشرفت های صورت گرفته در زمینه ساخت سیستم های میکروالکترومکانیکی، قطعات میکرومکانیکی کاربردهای گسترده تری یافته اند. از جمله این قطعات پرکاربرد، تشدیدگرهای میکرومکانیکی است. تشدیدگرهای میکرومکانیکی ابعادی کوچک و فرکانس های تشدید بالایی دارند. امروزه از این تشدیدگرها در سیستم های ارتباطی بی سیم و ناوبری، فیلترها، میکروسکوپ اتمی، ژیروسکوپ های ارتعاشی، حسگرهای جرم، فشار، کرنش، نیرو، شتاب...