در این پایان نامه یک سنسور زاویه سنج 2 جهته که از طریق تکنولوژی میکروماشین قابل ساخت است ارائه شده است. این سنسور توانایی اندازه گیری زاویه تا رنج ±90° در دو جهت x و y را دارا می باشد. در این سنسور از فنر های جدیدی که به صورت صلیب شکسته قرار گرفته اند استفاده شده است. این فنر ها تقارن مناسبی در جهات x و y به دست می دهند و ثابت فنر پایین در این جهات و سختی بالا در جهت z دارند. در این سنسور از تی...

توپوگرافی و اندازه گیری صافی سطح زبر با استفاده از اندازه گیری لیزر اینترفرومتری میکروسکوپ زیگو1 ناممکن است. به دلیل دقت بالا و همچنین مدت زمان کوتاه اندازه گیری، استفاده از روش خازنی برای اندازه گیری توپوگرافی و صافی سطح زبر از جنس کوارتز پیشنهاد می شود. با استفاده از این روش می توان نقشه خطا را برای فرایند های اصلاح خطای شکل، مانند پولیش کاری با کنترل کامپیوتری(ccp) ، پرداخت با ذرات ساینده مغ...

در پژوهش کنونی، نانو اکسید دوتایی منگنز - نیکل به روش پتانسیودینامیک در دمای اتاق بر روی فولاد زنگ نزن رسوب داده شد و اثر فرایند آنیل (در دمای 200 درجه سانتی­گراد، به مدت 6 ساعت) بر ریز ساختار و عمل­کرد الکتروشیمیایی شبه خازن تولیدی مورد مطالعه قرار گرفت. نتایج نشان از اثر قابل توجه فرایند آنیل در افزایش ظرفیت خازنی و هم چنین کاهش مقاومت انتقال بار الکترود داشت. تصاویر fesem، وجود نانو ورقه­های...

در این کار، در روش های پتانسیل گام به گام و ولتامتری چرخه ای، سهم خالص جریان فارادی، جریان خازنی مرحله ای و جریان خازنی القایی از سهم جریان کل با استفاده از روش تفکیک چند متغیره منحنی با روش حداقل مربعات متناوب بدست آمد. به عنوان مدل های شیمیایی، اکسایش ،co(phen)3cl2، k4[fe(cn)6]، kscn و مخلوط k4[fe(cn)6] وkscn و همچنین کاهش ru(nh3)6cl3 در سطح الکترود کربن شیشه ای در روش کرونوآمپرومتری مورد برر...

در این پژوهش، مدل جدیدی برای میکروفون های خازنی mems، جهت استفاده در مدارهای مجتمع نشان داده شده است. این میکروفون دارای دیافراگمی به ضخامت (1?m)و ابعاد (0.5×0.5?mm?^2 ) می باشد. فاصله هوایی در نظر گرفته شده برای این میکروفون(1?m) می باشد. در طراحی این میکروفون، از یک دیافراگم شیار دار که بوسیله بازوهایی نگه داشتهمی شوند، استفاده شده است که سبب کاهش استرس در دیافراگم می شود و همچنین تعداد 16 حف...

امروزه بانک های خازنی به طور گسترده در سیستم های توزیع استفاده می شود. از جمله مشکلات مربوط به کلید زنی خازنی می توان به هارمونیک رزونانس، اضافه ولتاژ گذرا و تریپ درایوهای سرعت اشاره کرد. با پیشرفت صنعت و به کارگیری تجهیزات الکترونیک، بارهای مصرف کننده حساس تر شدند و تحت تاثیر اغتشاش ناشی از کلید زنی خازنی قرار می گیرند. از این رو باید اغتشاشات ناشی از کلید زنی بانک های خازنی که از مهم ترین اغت...

در این مقاله رفتار میکرو شتاب سنج خازنی شانه جانبی شامل اغتشاش سیستم، حساسیت و مدت زمان پاسخ دهی مدلسازی و بهینه سازی شده است. همچنین رفتار دینامیکی سیستم برای توابع ورودی شتاب شامل تابع ثابت، ضربه و پله شبیه سازی شده است. برای این منظور، ابتدا رفتار سیستم با استفاده از تابع ورودی ثابت شبیه سازی و نتایج حاصل با نتایج تجربی دیگر تحقیقات مقایسه و تأئید شده است. در ادامه، با مینیمم سازی اغتشاش کلی...

در این مقاله، یک میکروفن خازنی m‏ems  جدید تک تراشه بر روی ویفر سیلیکونی با کمینه کردن اندازه و کاهش استحکام  مکانیکی با استفاده از دیافراگم دایروی با مرکز ثابت پیشنهاد شده است. در میکروفن پیشنهادی دیافراگم شامل تعدادی حفره می باشد که موجب عبور هوا در شکاف مابین صفحه پشتی و دیافراگم می شود و به این ترتیب میرائی مربوط به صدا را در میکروفن کاهش می دهد. تازگی این روش، ایجاد میکروفن دایروی با مرکز ...

محتوای رطوبتی خاک،یکی از مهمترین ویژگی های فیزیکی تاثیر گذار بر تولیدات کشاورزی می باشد. استفاده از حسگرهای خازنی، روشی برای تخمین محتوای رطوبت خاک می باشد. در این روش، خاک به عنوان بخشی از دی الکتریک حسگر خازنی محسوب می شود. در این تحقیق، داده های خروجی از یک حسگر خازنی که به شکل فرکانس بودند توسط شبکه عصبی مورد برازش قرار گرفته و با نتایج حاصل از رگرسیون مقایسه شدند. در ارزیابی استاتیکی داده ...