رشد روز افزون به کارگیری سیستم های فرکانس بالا، نیاز به مدارها و سیستم های کم هزینه تر و کوچک تر با مشخصات فرکانس بالای بهتر را بیشتر کرده است. سوئیچ های میکروالکترومکانیکی، یکی از انواع سوئیچ های فرکانس بالا هستند که در سال های اخیر به دلیل ویژگی های فرکانس بالای بهینه از جمله ایزولاسیون بالا، تلفات کم، خطی بودن، قابلیت ساخت با حجم و هزینه کم و قابلیت مجتمع شدن با تکنولوژی ارزان قیمت cmos، در ...

فناوری سیستم‌های میکروالکترومکانیک، فناوری دستگاه‌های بسیار کوچک است و آن را در مقیاس نانو به سیستم‌های نانوالکترومکانیکی و فناوری نانو درمی‌آورد. اگرچه این فناوری در حال حاضر به روش آزمون و خطا طراحی می‌شود، اما حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرک‌ها و قطعات الکترونیکی روی یک لایة سیلیکون به‌کمک فناوری ساخت تراشه‌های میکرونی است. تولید سیستم‌های میکروالکترومکانیکی به‌کمک یکی از بنیادی‌ترین ...

در این پایان نامه ابتدا، به معرفی کلی تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی (mems) پرداخته شده و پیش زمینه ای از آن ارائه گردیده و در خصوص مواد مورد استفاده و روشهای تحریک این گونه سیستم ها توضیحاتی داده شده است. در ادامه، مطالعات انجام شده توسط روش های نیمه تحلیلی در زمینه سیستمهای میکرو الکترومکانیکی مرور شده است سپس، چند روش حل نیمه تحلیلی پرکاربرد معادلات مانند: pm،vim و hpm بطور کامل معرفی...

چکیده: قطعات mems بدلیل مزایایی از قبیل توان تلفاتی کم، نویز، وزن و قیمت کمی که دارند بسیار مورد توجه قرار گرفته اند و امروزه در سیستم های rf فرکانس بالا بسیار مورد استفاده قرار می گیرند. یکی از مهمترین المانهایی که قطعات mems دارند سوئیچ ها می باشند که دارای قابلیت مجتمع سازی هستند. سوئیچ ها در مقایسه با قطعات نیمه هادی از توان مصرفی خیلی پایین، فرکانس قطع بالا، تلفات داخلی کمتر و همچنین ایزو...

در این پایان نامه دو نوع سیگنال تحریک برای کاهش شارژ دی الکتریک سوئیچ های خازنی میکروالکترومکانیکی معرفی می شود. هر دو شکل موج پیشنهادی به گونه ای هستند تا میزان بار تزریقی منبع کاهش یابد. میزان بار به تله افتاده در دی الکتریک و سایر پارامترهای مرتبط برای شکل موج های پیشنهادی و شکل موج هایی که تا کنون معرفی شده به-صورت عددی و تحلیلی محاسبه می شوند. شکل موج سیگنال تحریک تاثیر بسزایی در زمان کلید...

در سنسورهای اینرسیال اندازهگیری دقیق خروجی سیستم در درجه اول اهمیت قرار دارد. ژیروسکوپها میکروالکترومکانیکی علارغم کاهش اثرات نامطلوب مکانیکی و محیطی، کماکان با مشکلی بنام کوپلینگ مکانیکی بین مودهای تحریک و تاثیر مواجه میباشند. یکی از روشهای مهم برای کاهش این اثرات استفاده از سازههایی با چندین جرم گواه است که مودهای تحریک و تاثیر را از هم جدا کرده و هر مود تحریک یا تاثیر فقط بر یک جرم گواه ...

در این مقاله به بررسی تحلیلی و تجربی پکیج فشارسنج میکرو الکترومکانیکی پرداخته شده است. این پکیج فشارسنج از یک حسگر میکروالکترومکانیکی، برد مدار چابی، نمایشگر خازنی تشکیل شده است. در ابتدا، مدلسازی ریاضی و کامپیوتری با استفاده از نرم افزار کامسول ارائه شده که بر اساس تحلیل اجزاء محدود مقادیر خروجی ولتاژ و حساسیت از حسگر فشار میکروالکترومکانیکی پیزومقاومتی محاسبه شده است. شایان ذکر است که عنصر مق...

نانوحسگرها، حسگرهایی در ابعاد نانو هستند که دقت و واکنش‌پذیری بسیار بالایی دارند. لذا، نانوحسگر وسیله­ای بسیار ظریف، دقیق و حساس است که قادر به شناسایی و پاسخ به محرک‌های فیزیکی، شیمیایی و زیستی است. استفاده از این نوع حسگرها در حوزه کشاورزی به‌ویژه در علوم خاک کمک زیادی به سنجش دقیق دما و رطوبت خاک خواهد کرد. همچنین به‌دلیل برخورداری از مزیت‌های ارتباط بی­سیم، استفاده از این فناوری در مقایسه ب...

در این مقاله بر اساس قضایایی که بیان و اثبات خواهد شد، روش جدیدی به منظور طراحی کنترل کننده مقاوم برای فرآیندهای چند متغیره خطی و نامعین که دارای محدودیتهای سخت زمانی بر روی بردار خروجیها و پهنای باند سیستم هستند ارائه می شود. در این روش ابتدا فرآیند چند متغیره m× m توسط یک فیدبک داخلی به همراه کنترل کننده قطری به فرآیند جدیدی تبدیل می شود. بعد از آن این فرآیند جدید به کمک روش غیراندرکنشی در تئ...

با توسعه ریزفناوری میکروماشین کاری و میکروالکترونیک، میکروهیترها کاربردهای زیادی در میکروحسگرها پیدا کرده اند. جنس الکترود گرم-کننده یکی از عوامل تاثیرگذار در میزان اتلاف توان، پاسخ زمانی و حساسیت میکروهیتر می باشد. در این مقاله دو میکروهیتر با هندسه یکسان، اما با دو فلز مختلف بر روی بستر سیلیکون و بر پایه فناوری میکروماشین کاری حجمی (mems) طراحی، ساخته و مشخصه یابی شده اند. در میکروهیتر اول از...