مهدی راغبی

[ 1 ] - معرفی و بررسی عملکرد تشدیدگرهای میکرومکانیکی

امروزه با پیشرفت‌های صورت‌گرفته در زمینة ساخت سیستم‌های میکروالکترومکانیکی، قطعات میکرومکانیکی کاربردهای گسترده‌تری یافته‌اند. از جمله این قطعات پرکاربرد، تشدیدگرهای میکرومکانیکی است. تشدیدگرهای میکرومکانیکی ابعادی کوچک و فرکانس‌های تشدید بالایی دارند. امروزه از این تشدیدگرها در سیستم‌های ارتباطی بی‌سیم و ناوبری، فیلترها، میکروسکوپ اتمی، ژیروسکوپ‌های ارتعاشی، حسگرهای جرم، فشار، کرنش، نیرو، شتاب...