مشخصه یابی خواص لایه نازک الکترواپتیکی ZnO:Alساخته شده به روش ترکیبی کندوپاش پلاسمایی ساده و اکسیداسیون حرارتی

نویسندگان: ثبت نشده
چکیده مقاله:

علاقه به تحقیق و پژوهش در زمینه پلاسماهای غباری که رشته جدیدی در فیزیک پلاسما می‌باشد با توسعه صنعت میکروالکترونیک رشد چشمگیری داشته است. ذرات غبار که تا کنون به عنوان آلودگی در نظر گرفته می‌شدند، امروزه در فنآوری های لایه گذاری برای صنایع میکروالکترونیک، اپتیک، الکترواپتیک استفاده می‌شوند. در اینجا ما روی پوشش با ذرات غبار از طریق ایجاد لایه نازک ZnO:Al کار می‌کنیم. ذرات غبار Zn وAl  می‌باشند. لایه های نازک با روش ترکیبی کندوپاش ساده Zn و Al و اکسیداسیون حرارتی آنها ساخته شدند. لایه‌های نازک ZnO:Al با توجه به خواص فیزیکی‌ای که دارند شفافیت بالایی در نور مرئی و مقاومت الکتریکی پایینی دارند. خواص  اپتیکی و الکتریکی لایه‌های مذکور توسط XRD, RBS ، پروب چهار نقطه‌ای و طیف نمایی نوری در ناحیه طول موج مرئی بررسی شدند. مقدار مقاومت در بهترین حالت برابر با  12خ©.Cm' type="#_x0000_t75"> 3-10 × 0.905 و در طول موج  nm 800-300 میزان عبوردهی نور 85 درصد بدست آمد.

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

بررسی اثر دمای زیرلایه بر خواص ساختاری و فیزیکی لایه نازک کربن انباشت شده به روش کندوپاش پرتو یونی

در تحقیق حاضر اثر دمای زیرلایه در محدوده ºC 400-36 بر خواص ساختاری و فیزیکی لایه نازک کربن ایجاد شده بر سطح شیشه به روش کندوپاش پرتو یونی بررسی شده است. خواص نوری و ساختاری لایه به ترتیب به وسیله طیف سنجی UV-visible، طیف سنجی رامان و میکروسکوپ نیروی اتمی مورد مطالعه قرار گرفته است. اندازه‏گیری طیف عبور نمونه ها کاهش میزان عبور نور در محدوده مرئی با افزایش دمای انباشت را نشان می دهد. طیف رامان ل...

متن کامل

بررسی چقرمگی شکست و حساسیت به نرخ کرنش لایه نازک نیترید تانتالوم تولید شده به روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی

نیترید تانتالوم به دلیل سختی بالا و مقاومت به خوردگی خوب توانسته است توجهات زیادی را به عنوان پوششی مناسب جلب نماید. اما چقرمگی شکست لایه‌های نازک نیترید تانتالوم که یکی از عوامل تاثیرگذار بر طول عمر پوشش است، هنوز به خوبی بررسی نشده است. در این پژوهش، برای نخستین بار، چقرمگی شکست، پلاستیسیته و حساسیت به نرخ کرنش لایه های نازک نیترید تانتالوم به کمک روش نانو فرورونده بررسی و ارزیابی شد. در این ...

متن کامل

مشخصه یابی و بررسی خواص اپتیکی نانوپودر تلوراید کادمیم سنتز شده به روش هیدروترمال

نانوپودرهای تلوراید کادمیم به روش هیدروترمال، در دماهای مختلف و زمان واکنش متفاوت سنتز شدند. نمونه های آماده شده با استفاده از پراش پرتو ایکس (XRD)، میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)، طیف آنالیز EDS و طیف سنجی مرئی-فرابنفش پخشی (UV-Vis DR) مشخصه یابی گردیدند. طرح پراش پرتو ایکس نشان می دهد که فازهای ثانویه در نمونه سنتز شده در دمای 180 درجه سانتی گراد و زمان واکنش 80 ساعت تقریبا ناپدید می شوند. تص...

متن کامل

سنتز و بررسی خواص الکترواپتیکی سیلیکون متخلخل به روش ترکیبی شیمیایی و الکتروشیمیایی

در این تحقیق، سیلیکون متخلخل به روش نوین حکاکی ترکیبی شیمیایی و الکتروشیمیایی سنتز شد و تغییرات خواص اپتیکی و ساختاری بر اساس درجه تخلخل نمونه ها مورد بررسی قرار گرفت. در این روش سطح زیر لایه های سیلیکونی ابتدا توسط روش اچینگ شیمیایی به مدت Td (زمان تاخیر) آماده سازی گردید. سپس در روش اچینگ الکتروشیمیایی حفره‌های اولیه تولید شده در مرحله قبل، امتداد یافته و سیلیکون متخلخل یکنواختی ای...

متن کامل

بررسی بهبود بخشی پلاسمایی پلاسمای ترکیبی نیتروژن و اکسیژن بر خواص فوتوکاتالیستی لایه های نازک دی اکسید تیتانیوم

لایه های نازک دی اکسید تیتانیوم با ضخامت 280 نانومتر با استفاده از روش کنــــدو پاش مغناطیسیDC روی زیر لایه شیشه تهیه شده اند.برای لایه نشانی از هدف فلز تیتانیوم به صورت ورق و گاز ترکیبی آرگون و اکسیژن و زیرلایه ای با دمای 250 درجه سانتی گراد استفاده شده است. دستگاه پراش اشعه X (XRD) فاز آناتاز را برای نمونه ها نشان داده است و توپوگرافی سطح با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) مورد بررسی قر...

متن کامل

لایه نشانی، مشخصه یابی و مطالعه خواص ساختاری و الکترواپتیکی لایه های نازک in2s3 با ناخالصی قلع به روش اسپری پایرولیزیز

در این تحقیق، لایه های نازک دوتایی in2o3:s و in2s3:sn به روش اسپری پایرولیزیز بر روی بستر های شیشه-ای تهیه شده اند و تاثیر تغییرتراکم گوگرد و قلع بر روی خواص ساختاری، الکتریکی، اپتیکی،ترموالکتریکی و فوتورسانایی این لایه ها بررسی شد. برای تهیه لایه نازک in2o3:s میزان ناخالصی سولفور با نسبت اتمی [s]/[in]= 0-0.2-…-1.5 در محلول اولیه تغییر داده شد. نتایج xrd نشان می دهد که در تراکم پایین سولفور، فا...

15 صفحه اول

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده

{@ msg_add @}


عنوان ژورنال

دوره 9  شماره 17

صفحات  21- 25

تاریخ انتشار 2013-06-22

با دنبال کردن یک ژورنال هنگامی که شماره جدید این ژورنال منتشر می شود به شما از طریق ایمیل اطلاع داده می شود.

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com

copyright © 2015-2023