باز توزیع ناخالصی آرسنیک (As) در رشد گرمایی و سرعت رشد اکسید سیلیسیم
نویسندگان
چکیده مقاله:
In this article, we investigate the redistribution of implanted As+ ion and effect of it on the rate of oxide growth during steam oxidation of Si wafers at 900oC. Our results show that a highly enriched, thin layer of Arsenic forms at the interface between the oxide and the underlying Si. Also, the oxidation rate was found to increase depending on the depth distribution and dose of the implanted impurity As. The thin As layer collected at the interface can be used in the design of shallow junctions. Rutherford Backscattering Spectroscopy(RBS) was used to investigate the oxide characteristics.
منابع مشابه
باز توزیع ناخالصی آرسنیک (as) در رشد گرمایی و سرعت رشد اکسید سیلیسیم
در این مقاله نحوه باز توزیع ناخالصی آرسنیک و تاثیر آن را بر روی سرعت رشد اکسید سیلیسیم که به روش اکسیداسیون گرمایی )در دمای 900c° و با استفاده از بخار آب( رشد داده شده است بررسی می کنیم. ناخالصی آرسنیک به وسیله کشت یونی با انرژی 100kev در نمونه سیلیسیم با جهت بلوری (100) کاشته شده و اثر ناخالصی آرسنیک با غلظتهای 2×1016as+/cm2و 5×1016as+/cm2بر سرعت رشد اکسید سیلیسیم به وسیله اندازه گیری ضخامت اک...
متن کاملشبیهسازی رشد لایه‌های نازک در حضور ذرات فعال و ناخالصی
در این مقاله در چارچوب مدل انباشت بالستیک به شبیه‌سازی رشد لایه‌های نازک در حضور دو نوع ذره فعال (A) و ناخالصی(C) می‌پردازیم و نمای مقیاسی رشد و نمای مقیاسی زبری را به‌دست می‌آوریم و آن‌ها را با کلاس جهانی ارائه شده توسط کاردار-پاریزی-ژانگ (KPZ) مقایسه می‌کنیم. نتایج به‌دست‌آمده وجود یک احتمال بحرانی را نشان می‌دهند، به‌گونه‌ای که به‌ازای مقادیر کوچکتر از ، مدل انباشت مورد نظر ما در کلاس جه...
متن کاملآموزش عالی مشوق رشد در اقتصادهای باز
با گسترش جهانی شدن و یکپارچگی بیش از پیش اقتصاد کشورها در دو دهه گذشته و مطرح شدن مباحث مربوط به اقتصاد دانش، بحث آموزش عالی و سرمایه گذاری بر روی آن مورد توجه بسیاری از اندیشمندان و صاحبنظران قرارگرفته است. مطالعات تجربی نشان می دهد که تأثیر آموزش بر رشد اقتصادی در کشورهایی که سیاستهای باز اقتصادی را دنبال کرده اند، قوی تر بوده است. در این مقاله اثر آموزش عالی بر رشد اقتصادی در کشورهای باز و ب...
متن کاملرشد اقتصادی و توزیع درآمد در ایران
طرح مسأله: رابطه رشد اقتصادی و توزیع درآمد از موضوعات مهم اقتصادی است که توجه اقتصاددانان به‌ویژه اقتصاددانان توسعه را به خود جلب کرده و راجع به آن نظرهای گوناگون ابراز شده است. در اقتصاد ایران به دست آوردن ارتباط متقابل رشد اقتصادی و توزیع درآمد، به دلیل اهمیتی که مبحث عدالت اجتماعی در مبانی ارزشی دارد و نیز حساسیت‌های اجتماعی که در این زمینه وجود دارد، از اهمیت ویژه‌ای برخوردار است. روش: در ...
متن کاملرشد اقتصادی و توزیع درآمد در ایران
طرح مسأله: رابطه رشد اقتصادی و توزیع درآمد از موضوعات مهم اقتصادی است که توجه اقتصاددانان به‌ویژه اقتصاددانان توسعه را به خود جلب کرده و راجع به آن نظرهای گوناگون ابراز شده است. در اقتصاد ایران به دست آوردن ارتباط متقابل رشد اقتصادی و توزیع درآمد، به دلیل اهمیتی که مبحث عدالت اجتماعی در مبانی ارزشی دارد و نیز حساسیت‌های اجتماعی که در این زمینه وجود دارد، از اهمیت ویژه‌ای برخوردار است. روش: در ...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
عنوان ژورنال
دوره 5 شماره 4
صفحات 243- 248
تاریخ انتشار 2005-12
با دنبال کردن یک ژورنال هنگامی که شماره جدید این ژورنال منتشر می شود به شما از طریق ایمیل اطلاع داده می شود.
کلمات کلیدی برای این مقاله ارائه نشده است
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023