میکروپمپ های غیر مکانیکی به دلیل نداشتن اجزای متحرک نسبت به میکروپمپ های مکانیکی پیچیدگی کمتری دارند. برخلاف پمپ های معمولی میکروپمپ ها حجم بسیار کمی از سیال را جابجا می کنند، به این علت ایده های جدید و متنوعی برای این پمپ ها پیشنهاد شده است. در این پایان نامه، برای اولین بار یک میکروپمپ با استفاده از موج روان الکترواستاتیک برای حرکت سیال دی الکتریک درون کانال با موفقیت ساخته شده و با استفاده از معادلات و مفاهیم حاکم در الکترواستاتیک در حضور موج روان، معادله نیروی وارده به سیال استخراج شده و پارامترهای موثر برعملکرد آن از نظر تئوری و آزمایشگاهی مورد بررسی قرار گرفته است. در این میکروپمپ، از الکترودهای سه فاز روی محیط یک دایره برای ایجاد موج روان و به حرکت درآوردن سیال استفاده شده است. برای تامین ولتاژ های سینوسی مورد نیاز با اختلاف فاز مشخص از برنامه کنترلی نوشته شده در نرم افزار متلب و تقویت کننده استفاده شد.