طراحی و شبیه سازی یک شیفت دهنده فاز میکرو الکترومکانیکی 6 بیتی در باند x مورد بررسی قرار گرفته است. در طراحی این شیفت دهنده ساختار به نسبت جدیدی را با ادغام دو ساختار dmtl و switched-line ارایه داده¬ایم. با توجه به نتایج شبیه سازی، میانگین return loss و insertion loss برای تمامی 64 حالت شیفت فاز در فرکانس ghz 7/9 به ترتیب برابر db 22- و db 06/0- است. همچنین در این فرکانس مقدار موثر خطای فاز برابر 3/2 درجه است. با توجه به میانگین تلفات db 6/0برای تمامی حالات شیفت فاز، عملکرد این شیفت دهنده برابر db/bit 1/0 بدست می¬آید. از ویژگی¬های شیفت دهنده فاز پیشنهادی می¬توان به استفاده از پل¬های خازنی فلز-هوا-فلز اشاره نمود که موجب کاهش تلفات انتقال می¬گردد. همچنین فرآیند ساخت پیشنهادی برای این شیفت دهنده بر خلاف شیفت دهنده dmtl نیاز به لایه سیلیکان نایتراید ندارد که موجب سادگی و کاهش مراحل ماسک گذاری و لیتوگرافی به پنج مرحله می¬گردد. با استفاده از روابط ریاضی اثبات کرده¬ایم که نسبت فرکانس قطع به فرکانس کاری برای این شیفت دهنده فاز برابر 20 است که این نسبت مستقل از پارامتر¬های طراحی همچون فاصله بین پل¬های خازنی است. ابعاد این شیفت دهنده 6 بیتی برابر ?mm?^2 134 است.