چکیده: سیلیسیم متخلخل به دلیل داشتن حفره هایی که در سطح آن ایجاد شده است دارای سطح موثر بیشتری بوده و حسگر بسیار خوبی برای گازها است. برای ایجاد تخلخل، از محلول الکترولیت حاوی اتانول و اسید hf (هیدروفلوئوریک) و الکترودهای پلاتین (کاتد) و سیلیسیم (آند) با جریان الکتریکی ثابت استفاده شده است. ماده ی دیگری که حسگر خوبی برای گازها به شمار می رود، نانوذرات دی اکسید تیتانیم است. این نانوذرات را با استفاده از حلال های آلی به دو روش سُل- ژِل و میکروامولسیون سنتز می کنند. نانوذرات دی اکسید تیتانیم شامل سه فاز اصلی آناتاز، روتایل و بروکایت است. در این پروژه برای ساخت حسگر، نانوذرات دی اکسید تیتانیم را به روش سل- ژل سنتز کرده و لایه ای از این نانوذرات (با فاز آناتاز) را توسط دستگاه لایه نشانی خلاء (الکترون بیم گان) روی سیلیسیم متخلخل می نشانیم و دو طرف قطعه را با آلومینیوم لایه نشانی می کنیم تا به صورت ساندویچ ((al/si/pps/tnps/al به عنوان حسگر گاز اکسیژن مورد بررسی قرار گیرد. برای بررسی خواص حسگری قطعه برای گاز اکسیژن و رسانایی الکتریکی dc آن، قطعه را درون محفظه تاریک قرار می دهیم و در شرایط مختلف، محیط اتاق (k 303)، تاریکی با درجه حرارت k 343 و در حضور گاز اکسیژن با درجه حرارت k 343 به بررسی اثر گاز بر رسانایی حسگر و جذب سطحی گاز توسط حسگر می پردازیم. در پایان میزان حساسیت حسگر در برابر گاز اکسیژن را مورد بررسی قرار می دهیم.