چکیده سیلیکان متخلخل یک ماده بسیار خوب به عنوان حسگر تشخیص گاز می باشد. این امر به سبب خلل و فرج هایی است که در سطح سیلیکان ایجاد می شود. گاز وقتی از روی سیلیکان متخلخل عبور می کند در این خلل و فرج ها وارد می شود و به راحتی می تواند باعث تغییر در خواص الکتریکی آن شود. برای ایجاد تخلخل در سیلیکان از محلول الکترولیت، بر پایه اتانول و اسید hf استفاده شد تا حفره های ایجاد شده از نوع مزو متخلخل و در ابعاد نانو تشکیل شوند. اگر می خواستیم حفره ها از نوع ماکرو متخلخل و یکنواخت باشند باید از محلول الکترولیت بر پایه dmf و اسید hfاستفاده می کردیم. ماده دیگری که حسگر خوبی برای گازها می باشد، فتالوسیانین ها می باشند که در اینجا از bralpc (برومو آلومینیوم فتالوسیانین ) استفاده شده است. فتالوسیانین به صورت لایه نازک و ضخیم روی سطح سیلیکان متخلخل لایه نشانی شد تا خواص حسگری افزایش یابد. بس از اینکه نمونه ها ساخته شدند مورفولوژی نمونه ها توسط تصاویر sem بررسی شد. سپس نمونه ها را هم به روش dc و همچنینac مورد اندازه گیری قرار دادیم. در اندازه گیری های dc نمودار های i-v در دماهای بین 300-380 درجه کلوین و با اعمال گاز co2 و عدم اعمال گاز بررسی شدند. که با افزایش ولتاژ (تا 8 ولت اعمال شد) جریان نیز افزایش می یابد همچنین نمودارهای sensitivity و انرژی فعال سازی نیز بررسی شدند. در اندازه گیری های ac چون نمونه ها را به عنوان خازن در نظر می گیریم، ظرفیت و عامل اتلاف آن ها را در فرکانس های 102-105 هرتز و دماهای بین 300-380 کلوین مورد اندازه گیری قرار دادیم و نمودارهای آنها را رسم کردیم. نتایج نشان دادند که ظرفیت و عامل اتلاف با افزایش دما، افزایش می یابد و با افزایش فرکانس ، کاهش می یابد.