در این کار ابتدا لایه های نازک سلنیدروی (znse) به روش تجزیه گرمایی افشانه ای روی زیرلایه های شیشه ای رشد داده شدند. سپس اثر پارامترهای مختلف رشد نظیر دمای لایه نشانی، آهنگِ شارش محلول، نسبت وزن مولی سلنیوم دی اکساید به کلریدروی، میزان حجم محلول اسپری، دمای بازپخت و همچنین مدت زمان آن بر روی ساختار بلوری و خواص اپتیکی لایه های تهیه شده بررسی شد. بررسی طیف xrd و همچنین تصاویر sem ثبت شده برای نمونه تهیه شده در دمای °c420 با آهنگ شارش cc/min6 نشان داد که کیفیت ساختار بلوری این نمونه نسبت به نمونه های دیگر بهتر است. بررسی اثر نسبت وزن مولی سلنیوم دی اکساید به کلریدروی در بازه 1:1، 2:1 و 3:1 نشان داد که این تغییرات تأثیر قابل ملاحظه ای بر خواص اپتیکی نمونه ها ندارد. بررسی تأثیر دمای بازپخت و زمان آن روی خواص فیزیکی لایه های نازک سلنیدروی نشان داد که نمونه نمونه تهیه شده با آهنگ شارش cc/min6 و بازپخت شده در دمای °c400 در زمان 60 دقیقه نسبت به سایر نمونه ها دارای ساختار بلوری بهتری است. اما خصوصیات اپتیکی نمونه تهیه شده با آهنگ شارش cc/min4 نسبت به سایر نمونه ها بهتر است. بررسی اثر حجم محلول اسپری نشان داد که این پارامتر همچون پارامتر اثر نسبت مولی سلنیوم دی اکساید به کلریدروی تأثیر قابل توجهی روی ساختار بلوری و خواص اپتیکی نمونه ها ندارد. نتایج بدست آمده نشان می دهد که پارامترهایی مانند دمای لایه نشانی، آهنگ شارش محلول، دمای بازپخت و مدت زمان آن تأثیر قابل ملاحظه ای بر خواص ساختاری و اپتیکی لایه های نازک سلنیدروی دارد.