در این پژوهش تأثیر عملیات نیتراسیون پلاسمایی و رسوب فیزیکی بخار بر کیفیت سطوح بدست آمده بر روی v4-al6-ti مورد بررسی قرار گرفت. در عملیات نیتراسیون پلاسمایی، نمونه ها در دماهایoc 750،oc 850 وoc 950 در مخلوط گازی شامل n2%1/25- h2%9/74 در فشار mbar5 به مدت 20 ساعت تحت عملیات قرار گرفتند. مشاهده شد که با افزایش دما زبری و سختی سطح نمونه ها افزایش می یابد. و دما نقش بسیار برجسته ومهمی در نوع و شدت فازهای ایجاد شده دارد. بطوریکه در دماهای مختلف مقادیر متفاوتی از فازهای محلول در جامد نیتروژن در تیتانیم، ti2n و tin تشکیل شده و بیشترین مقدار فاز tin در دمای oc 950 بدست آمد. همچنین مشاهده شد که رشد لایه ترکیبی و نفوذی با افزایش دما افزایش می یابد. در عملیات با استفاده از روش رسوب فیزیکی بخار به کمک اشعه الکترونی (eb-pvd) و در دو حالت عملیات پوشش دهی بر روی نمونه ها انجام گرفت. در حالت اول نمونه ها به روش eb-pvd متداول درoc 500 و در حالت دوم به روش eb-pvd اصلاح شده در دو دمایoc 500 وoc 700 مورد پوشش دهی قرار گرفتند. اختلاف این دو حالت در استفاده از بمباران یونی پوششهای در حال رشد در حالت دوم است. نحوه رشد این پوشش ها با توجه به مدلهای ساختار- ناحیه مورد بررسی قرار گرفت. با توجه به اینکه نمونه های تهیه شده به روش eb-pvd اصلاح شده در oc 700 دارای سختی بالاتری در مقایسه با نمونه های نیتراسیون پلاسمایی شده و eb-pvd درoc 500 در دو حالت متداول و اصلاح شده بود، مشاهده گردید که ساختار فصل مشترک آن نسبت به نمونه های eb-pvd درoc 500 در هر دو حالت متداول و اصلاح شده که دارای فصل مشترک صاف و متمایزی با زیرلایه هستند دارای فصل مشترک زیگزاگی شکل می باشد. همچین با افزایش دما و اعمال بمباران یونی در پوششهایeb-pvd تغییر بافت از صفحات (111) به سمت صفحات (200) مشاهده شد. abstract