پوشش با لایه های نازک نقش بسیار مهمی در صنایع نیم رسانا ها و تجهیزات میکروالکترومکانیک و نانوالکترومکانیک دارد. اطلاع از خواص تشعشعی ساختار های چند لایه ای شامل سیلیکون و مواد فلزی مانند طلا، نقره و مس با پارامترهای متفاوت، جهت کاربردهای سیستمهای کوچک ضروری است. در این پروژه اثر پارامترهای گوناگون بر روی خواص تشعشعی ساختارهای چند لایه ای نانو مقیاس را شرح می دهد. از سیلیکون آلاییده کم استفاده شد، همچنین روش همدوس اعمال شد. بیانهای تجربی برای ثابت های نوری سیلیکون آلاییده کم مورد استفاده قرار گرفت. در این پروژه لایه های پوشش در دمای 25 درجه سانتیگراد بررسی شد. همچنین موج الکترو مغناطیس با زاویه 10° به ساختار چند لایه ای برخورد می کند. با بکارگیری الگوریتم رقابت استعماری (ica)، به عنوان یکی از الگوریتم های بهینه سازی نوین می توانیم مناسب ترین پوشش، ضخامت و ضرایب بهینه برای ضریب بازتاب، ضریب عبور و ضریب گسیل برای صنایع مورد نیاز بدست آورد. نتایج نشان داد که پوشش طلا، نقره و مس، مانند ضد عبورعمل می کند و این پوشش ها منجر به افزایش ضریب بازتاب نسبت به زیر لایه سیلیکون می گردند، چنانچه در طول موج های 0.65 و 0.8 به ترتیب باعث رشد 10.031 و 6.513 ضریب بازتاب می شود . در پوششهای فلزی به علت نفوذ ناچیز موج تغییر ضخامت تاثیر زیادی در ضریب بازتاب ندارد.