یکی از انواع میکروسنسورهایی که در صنایع مختلف زیاد استفاده می شود میکروسنسور فشار می باشد . در میکروسنسورهای فشار از روشهای مختلفی برای اندازه گیری فشار استفاده می شود که یکی از این روشها استفاده از خاصیت پیزوالکتریک می باشد که در برخی از مواد مشاهده می شود . سنسور فشار میکروالکترو مکانیکی سیستمی یکپارچه می باشد که برای اندازه گیری فشار از تغییر شکل دیافراگم سیلیکونی بهره می برد . تغییر شکل دیافراگم سنسور به کمک المانهای پیزوالکتریک که بر روی دیافراگم جایگذاری شده است به سیگنال الکتریکی تبدیل می شود که به کمک اندازه گیری این سیگنال فشار اعمالی بر روی دیافراگم اندازه گیری می شود . یکی از کاربردهای مهم این میکروسنسورها بکارگیری آنها در شرایط با دمای بالا می باشد . برای مثال اندازه گیری فشارگازهای داغ در موتورهای توربینی یا در توربینهای گازی راکتورها ی مبدل گرما . در این شرایط که دمای محیط بالا می باشد پس از مدت طولانی در دیافراگم میکروسنسور یک خزش به وجود می آید که این خزش سبب ایجاد خطا در اندازه گیری فشار توسط میکروسنسور می شود . در این پایان نامه پس از مطالعه پیشینه تحقیق وتحلیل پدیده خزش در دیافراگم یک میکروسنسور و سپس مقایسه abaqus یا ansys فشار پیزوالکتریکی هدف تعیین این مقدار خزش به صورت تحلیلی وسپسبه کمک نرم افزارهای نتایج بدست آمده از دو روش می باشد. کاربرد