آینه های اصلی لیزر بخار مس از جنس دی الکتریک می باشد. استفاده از آینه های فلزی در لیزرها به دلیل امکان خنک شدن آن ها، بسیار مورد توجه است. در این ‎‎پایان نامه نتایج جایگزینی آینه های فلزی ساخته شده با آینه اصلی لیزر بخار مس بررسی شده است. توان خروجی لیزر برای هر یک از آینه ها با تغییر فرکانس اندازه گیری شده اند. سپس نمایه دمایی پلاسمای مس تشکیل شده در تیوب لیزر بخار مس با طول موج خروجی لیزر ‎578‎ و ‎510‎ نانومتر و با پهنای پالس ‎25-30‎ نانوثانیه، و با استفاده از گاز کمکی هوا در فشار ‎10^-2 با استفاده از روش توزیع بولتزمن برای آینه لایه نشانی شده با مس و آینه اصلی لیزر بخار مس در شرایط تعادل ترمودینامیکی موضعی و توان ورودی یکسان در فرکانس‎‎ های متفاوت اندازه گیری شده و نتایج بدست آمده تحلیل گردیده ا ند‎.‎